[发明专利]原子层沉积连续式双面镀膜的卷绕装置

权利要求书

1.一种原子层沉积连续式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于，包括箱体，所述箱体内依次设置有第一区域、第二区域和第三区域，所述第二区域分别通过隔离板与所述第一区域和所述第三区域分隔，所述隔离板上设置有供基带穿过的通孔，所述第一区域内设置有放卷辊、第一过渡辊、第一进气系统和第一加热器，所述第二区域内设置有第二进气系统，所述第三区域内设置有收卷辊、第二过渡辊、第三进气系统和第二加热器，所述放卷辊和所述收卷辊分别用以放卷和收卷基带，所述第一过渡辊和所述第二过渡辊用以对基带的变向位置进行支撑，所述第一进气系统、所述第二进气系统和所述第三进气系统均包括伸入所述箱体内的匀气管，所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的所述箱体上均设置有出气口。

2.根据权利要求1所述的原子层沉积连续式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于，所述第一进气系统、所述第二进气系统和所述第三进气系统还包括高温阀和密封法兰，所述高温阀设置于所述箱体的外侧且与所述匀气管的一端连通，所述匀气管穿过所述箱体并通过所述密封法兰与所述箱体密封连接。

3.根据权利要求1所述的原子层沉积连续式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于，所述放卷辊与放卷伺服电机传动连接，所述放卷伺服电机上设置有放卷磁粉离合器。

4.根据权利要求1所述的原子层沉积连续式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于，所述收卷辊与收卷伺服电机传动连接，所述收卷伺服电机上设置有收卷磁粉离合器。

5.根据权利要求1所述的原子层沉积连续式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于，所述第一区域的所述箱体上还设置有放卷张力测试辊，所述第三区域的所述箱体上还设置有过收卷张力测试辊，所述放卷张力测试辊和所述收卷张力测试辊的位置可调，所述放卷张力测试辊和所述收卷张力测试辊用以张紧基带。

6.根据权利要求1所述的原子层沉积连续式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于，所述第一过渡辊和所述第二过渡辊同步转动。

7.根据权利要求1所述的原子层沉积连续式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于，所述第一过渡辊和所述第二过渡辊在所述箱体的长度方向上间隔设置。

8.根据权利要求1所述的原子层沉积连续式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于，所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域由上至下依次设置，所述第一加热器设置于所述第一过渡辊的下方，所述第二加热器设置于所述第二过渡辊的上方。

9.根据权利要求1所述的原子层沉积连续式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于，所述第一进气系统、所述第二进气系统和所述第三进气系统分别为TMA进气系统、N₂进气系统和H₂O进气系统。