[发明专利]一种原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置及其工作方法

权利要求书

1.一种原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于：包括沉积真空室，所述沉积真空室两端分别连接有放卷真空室和收卷真空室，所述放卷真空室内设置有放卷辊，所述放卷辊连接有放卷磁流体，所述放卷磁流体通过放卷磁粉离合器连接有放卷伺服电机；所述收卷真空室内设置有收卷辊，所述收卷辊连接有收卷磁流体，所述收卷磁流体通过收卷磁粉离合器连接有收卷伺服电机；所述放卷辊和收卷辊上用于缠绕基带；所述沉积真空室上下两侧分别交错设置有多个热电偶和加热器；所述沉积真空室上设置有匀气座；所述沉积真空室、放卷真空室和收卷真空室上分别开设有抽气口；所述热电偶和加热器包括依次交错设置于所述沉积真空室底部的第一热电偶、第一加热器、第二热电偶、第二加热器、第三热电偶和第三加热器以及依次交错设置于所述沉积真空室顶部的第四热电偶、第四加热器、第五热电偶、第五加热器、第六热电偶和第六加热器；相邻两个热电偶和加热器之间设置有导流板支柱，位于所述沉积真空室顶部的所述导流板支柱上设置有第一加热器屏蔽和第一导流板，位于所述沉积真空室底部的所述导流板支柱上设置有第二加热器屏蔽和第二导流板。

2.根据权利要求1所述的原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于：所述抽气口包括放卷室抽气口、收卷室抽气口、沉积真空室第一上抽气口、沉积真空室第一下抽气口、沉积真空室第二上抽气口和沉积真空室第二下抽气口。

3.根据权利要求1所述的原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于：所述放卷辊端部连接有放卷从动齿轮，所述放卷从动齿轮啮合有放卷主动齿轮，所述放卷主动齿轮通过所述放卷磁流体和放卷磁粉离合器与所述放卷伺服电机连接。

4.根据权利要求1所述的原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于：所述收卷辊端部连接有收卷从动轮，所述收卷从动轮啮合有收卷主动轮，所述收卷主动轮通过所述收卷磁流体和收卷磁粉离合器与所述收卷伺服电机连接。

5.根据权利要求1所述的原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于：所述放卷伺服电机通过放卷电机支架与所述放卷磁粉离合器连接；所述收卷伺服电机通过收卷电机支架与所述收卷磁粉离合器连接。

6.根据权利要求1所述的原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于：所述放卷真空室内安装有放卷张力测试辊，所述收卷真空室内设置有收卷张力测试辊；所述基带能够从所述放卷辊上绕过所述放卷张力测试辊后穿过所述沉积真空室，并最终绕过所述收卷张力测试辊后缠绕于所述收卷辊上。

7.根据权利要求6所述的原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置，其特征在于：所述放卷张力测试辊端部安装有放卷张力测试器。

8.一种基于权利要求1~7中任一项所述的原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置的工作方法，其特征在于：基带经过放卷张力测试辊反馈张力与放卷磁粉离合器、放卷伺服电机形成闭环，调节放卷辊的线速度，基带经过沉积真空室停留进行镀膜，加热器在基带两侧加热，通过调整每段加热器的功率使加热温区均匀，气体源从匀气座进入，向沉积真空室两侧流动完成沉积，并在收卷真空室经收卷辊收回。