[发明专利]飞秒激光加工参数共焦拉曼光谱原位监测方法与装置

说明书

本发明涉及飞秒激光加工参数共焦拉曼光谱原位监测方法与装置，属于激光精密检测技术、飞秒激光加工制造技术领域。本发明将高轴向分辨的激光共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合，利用共焦系统曲线最大值点对样品轴向位置进行纳米级监测和样品轴向加工尺寸测量，实现了样品轴向位置的实时定焦和加工后微纳结构尺寸的高精度测量，解决了测量过程中的漂移问题和高精度在线检测问题；利用共焦拉曼光谱探测模块对飞秒激光加工后样品材料的分子结构等信息进行监测分析，并通过计算机对上述信息进行融合，实现微细结构飞秒激光高精度加工与微区形态性能原位监测分析一体化，提高微细结构飞秒激光加工精度的可控性和样品的加工质量等。

技术领域

本发明涉及飞秒激光加工参数共焦拉曼光谱原位监测方法与装置，用于微细结构飞秒激光加工微区形态性能原位在线监测与分析，属于激光精密检测技术、飞秒激光加工制造技术领域。

背景技术

飞秒激光加工由于具有材料适应性广、加工精细度高、加工无需掩模等显著优点，而被视为“可能引起新工业革命”的世纪性技术备受关注，并被作为宏—微跨尺度微纳制造的首选手段得到中国、美国等世界各制造大国的优先发展。

飞秒激光加工就是利用激光与材料的非线性效应，在超越光学衍射极限的纳米尺度上使材料发生成形与成性，其本质是材料形态与性能参数的同时改变与调控，因而，我们只有同时监测加工过程中材料形态、性能参数的瞬时变化状态，才能真正揭示飞秒激光非线性加工的作用机理及其演化规律。

目前飞秒激光加工还存在非线性加工使物镜轴向进给量无法精确对应样品轴向去除量这一重大瓶颈问题，但现有的基于三角光位移传感器轴向监测、背向散射相干层析监测和光学相干层析监测等方法，其分辨能力均为微米或亚微米量级，如加拿大皇后大学和德国哥廷根激光实验室利用干涉成像法(OCT)开展了在线监测技术研究，但其x-y-z方向的监测分辨能力仅达微米量级。可见，飞秒加工装备由于受现有监测技术制约，仍然缺乏高性能的原位监测手段，这就使基于点加工、长耗时的飞秒激光加工设备普遍存在：非线性去除，使轴向去除不准；长耗时漂移，使加工系统不稳；非稳定点加工，使加工尺度不大等共性问题。其根源在于加工系统轴向定焦不准，进而制约了飞秒激光在跨尺度关键元件微纳制造方面的应用。

此外，飞秒激光加工过程中，加工材质不同，飞秒脉冲激光与物质的作用机理不同，加工过程中样品产生的形态和性能变化不同，在脉冲激光的作用下，样品的分子结构、元素比例和带电离子等均会发生变化，如何对加工完成后样品的物性参数和形态参数进行精确的检测，不仅是保证加工精度的关键、也是研究飞秒激光加工机理、提升加工工艺水平的重要前提。

由此可见，随着飞秒激光加工技术的飞速发展，迫切需要研究飞秒激光加工中形态性能参数的原位监测手段。

在形态性能参数探测中，基于拉曼(Raman)散射效应的激光共焦拉曼光谱探测技术，由于可通过探测样品微区拉曼光谱谱峰的强度、位置、位移、比值、半高宽等信息，来测得材料微区组分、应力、温度等参数，而被作为形态性能参数测试的重要的手段在飞秒激光加工的光致应变、晶体晶态、折射率变化、载流子密度、温度状态、成分等离线监测中得到成功应用，但现有飞秒激光加工仍然缺乏飞秒激光加工形态性能参数的一体化原位监测手段。

综上所述，现有飞秒激光加工中无法对样品进行精准的定焦和对准，无法对加工中的样品形态性能参数进行高精度的原位监测，其结果限制了飞秒激光加工效果稳定性和跨尺度加工能力，也制约了飞秒激光加工机理研究和加工工艺水平的提高。

为此，本发明提出在飞秒激光加工系统中创造性地融入激光共焦拉曼光谱探测技术，以期实现飞秒激光加工中形态性能参数的一体化原位监测，为飞秒激光加工形态性能参数一体化原位监测提供新手段，提升飞秒激光加工的精度性能和宏-微跨尺度加工能力等。

发明内容