[发明专利]芯片贴片自动固定装置在审
申请号: | 201811348142.1 | 申请日: | 2018-11-13 |
公开(公告)号: | CN109461684A | 公开(公告)日: | 2019-03-12 |
发明(设计)人: | 王印玺;秦超;陶源 | 申请(专利权)人: | 江苏澳芯微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221300 江苏省徐州市邳州市经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 芯片固定装置 自动固定装置 贴片 芯片输送装置 芯片吸取装置 夹持 一体化操作 封装芯片 加工效率 芯片放置 芯片封装 芯片固定 芯片吸取 | ||
本发明涉及一种芯片贴片自动固定装置,包括芯片吸取装置,芯片输送装置以及芯片固定装置;芯片吸取装置适于吸取芯片输送装置上的芯片,以将芯片放置在芯片固定装置上;芯片固定装置适于将芯片固定夹持,以封装芯片,芯片贴片自动固定装置,能将芯片吸取、放置以及固定实现一体化操作,结构简单,操作方便,方便芯片封装更好地定位和夹持,提高了芯片的加工效率。
技术领域
本发明具体涉及一种芯片贴片自动固定装置。
背景技术
高科技电子产品正朝着小、轻、薄的趋势发展。与之相反,受到成本及其他方面的市场压力,引线框架或封装载板的面积反而向着大尺寸的方向发展。目前最流行的扇出型封装技术,特别是基于大面积封装载板的封装技术,其封装载体的面积已经达到到传统封装载体如引线框架的10倍到20倍左右。面对这种技术趋势,如何提高装片/贴片效率是各个全球各个顶尖的设备制造商都在考虑的问题。在半导体封装中,需要将芯片移动以进行各种工艺,例如固晶。但是芯片体积较小且易破碎,人工移动芯片是较困难的。
目前,急需将芯片的取放和固晶结合起来,从而实现芯片一体化生产,以减少芯片加工过程中的困难。
发明内容
本发明要解决的技术问题是:克服现有技术的不足,提供一种芯片贴片自动固定装置,解决以往芯片固定不方便的缺陷。
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种芯片贴片自动固定装置,包括芯片吸取装置,芯片输送装置以及芯片固定装置;
芯片吸取装置适于吸取芯片输送装置上的芯片,以将芯片放置在芯片固定装置上;
芯片固定装置适于将芯片固定夹持,以封装芯片。
进一步的,芯片吸取装置包括竖直设置的转轴,转轴上端固定设置有若干根横杆,各根横杆下端设置有用于吸取芯片的真空吸附吸嘴。
进一步的,真空吸附吸嘴与横杆之间设有滑动组件,滑动组件适于带动真空吸附吸嘴沿横杆左右滑动。
进一步的,芯片固定装置包括底座,底座上方固定设置有用于放置芯片的承载板,底座上部左右两侧设有凸块,左右两侧的凸块分别螺纹连接有左调节螺栓和右调节螺栓;左调节螺栓和右调节螺栓内侧分别设有用于夹持芯片的左夹板和右夹板;左右两侧的凸块上部均设有L型夹板;所述L型夹板通过固定螺栓与凸块固定连接;L型夹板与芯片之间设有方形软垫。
进一步的,还包括视觉系统,用于获取吸附在芯片吸取装置上的芯片的位置信息及芯片固定装置的位置信息,并根据获取的位置信息进行补偿,以提高精度。
进一步的,还包括驱动系统,用于驱动转轴转动及驱动芯片吸取装置吸取或放置芯片。
进一步的,芯片输送装置包括输送支架和输送带;输送带安装在输送支架上。
进一步的,芯片固定装置下方设有支撑支架,芯片固定装置可拆卸的安装在支撑支架上。
本发明的有益效果是,
本发明提供一种芯片贴片自动固定装置,能将芯片吸取、放置以及固定实现一体化操作,结构简单,操作方便,方便芯片封装更好地定位和夹持,提高了芯片的加工效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是芯片贴片自动固定装置结构示意图;
图2是芯片固定装置结构示意图;
其中,1、芯片吸取装置,11、转轴,12、横杆,13、真空吸附吸嘴,14、滑动组件,2、芯片输送装置,21、输送支架,22、输送带,3、芯片固定装置,31、底座,32、承载板,33、凸块,34、左调节螺栓,35、右调节螺栓,36、左夹板,37、右夹板,38、L型夹板,39、方形软垫,4、芯片,5、支撑支架。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造