[发明专利]一种基片强适应性纳米材料均匀成膜方法及其装置

权利要求书

1.一种基片强适应性纳米材料均匀成膜装置，包括第一真空室(1)和第二真空室(2)，所述第二真空室(2)焊接于第一真空室(1)的右侧，其特征在于：所述第一真空室(1)的内腔右侧顶部和第二真空室(2)的内腔左侧顶部均安装有电动推杆(3)，所述电动推杆(3)的外侧推杆连接有夹具(4)，所述第一真空室(1)的左侧顶部和第二真空室(2)的右侧顶部均安装有电动蝶阀(5)，所述第一真空室(1)的左侧底部和第二真空室(2)的右侧底部均焊接有支撑架(6)，所述第一真空室(1)的底部左侧和第二真空室(2)的底部右侧均通过螺栓安装有真空泵(8)，所述第一真空室(1)和第二真空室(2)的底部均连接有气管(7)，且气管(7)的另一端与真空泵(8)连接，两个所述支撑架(6)之间焊接有横架(9)，所述横架(9)的顶部安装有蒸发装置(10)，所述蒸发装置(10)的顶部左右两侧均连接有金属管(11)，所述金属管(11)的内腔壁设有特氟龙涂层，所述金属管(11)的中间位置安装有定量控制阀(12)，两个所述金属管(11)的顶端分别与第一真空室(1)和第二真空室(2)连接。

2.根据权利要求1所述的一种基片强适应性纳米材料均匀成膜装置，其特征在于：所述蒸发装置(10)包括壳体(101)，所述壳体(101)的内腔设有隔板(102)，所述隔板(102)的底部安装有电热板(103)，所述隔板(102)的顶部连接有加料管(104)，所述加料管(104)的顶部螺纹连接有盖板。

3.一种基片强适应性纳米材料均匀成膜方法，采用权利要求2所述的基片强适应性纳米材料均匀成膜装置，其特征在于：包括以下步骤：

S1：添加溶液：根据需求配置适量纳米材料溶液，打开加料管(104)上的盖板，将所得溶液加入蒸发装置(10)的内腔；

S2：基片装夹：接通外部电源，开启第一真空室(1)内的电动蝶阀(5)和电动推杆(3)，通过电动推杆(3)推杆伸出推动夹具(4)运动至第一真空室(1)的外侧，在夹具(4)上装夹好基片后，再次开启电动推杆(3)使其推杆复位，复位后关闭电动蝶阀(5)并开启第一真空室(1)底部的真空泵(8)将第一真空室(1)抽真空；

S3：蒸发镀膜：开启电热板(103)对蒸发装置(10)内腔的溶液进行加热蒸发，在定量控制阀(12)上设置好剂量，并打开定量控制阀(12)，通入蒸发后的纳米材料蒸汽，当纳米材料蒸汽接触基片后可沾粘在基片上形成一层镀膜；

S4：预抽真空：将基片装夹在第二真空室(2)内，开启第二真空室(2)底部右侧的真空泵(8)将第二真空室(2)进行预抽真空；

S5：循环操作：待第一真空室(1)内的基片镀膜完毕后，卸下基片，按照所述步骤S3操作对第二真空室(2)内的基片进行镀膜，再次向第一真空室(1)内装夹基片，并对其进行预抽真空，待第二真空室(2)内基片镀膜完毕后，再次对第一真空室(1)内的基片进行镀膜。

4.根据权利要求3所述的一种基片强适应性纳米材料均匀成膜方法，其特征在于：所述步骤S1中纳米材料溶液的添加量为蒸发装置(10)内腔容积的一半。

5.根据权利要求3所述的一种基片强适应性纳米材料均匀成膜方法，其特征在于：所述步骤S3中，定量控制阀(12)的剂量设置为10L。