[发明专利]一种具有传动辊和磁流体密封传动装置的真空设备

权利要求书

1.一种具有传动辊和磁流体密封传动装置的真空设备，其特征在于,包括：

箱主体(10)，所述箱主体(10)的内部设置有一容腔，所述容腔中设置有一将该容腔分隔成相互独立的工作腔(11)和传动腔(12)的隔板(13)，同时所述工作腔(11)相对的两侧壁上开设有供工件进出该工作腔(11)的进出孔；

从动辊机构，所述从动辊机构包括一组以上的从动辊组件，所述从动辊组件包括依次连接的从动辊(21)、第一磁流体密封传动装置(210)、从动传动件(22)，所述从动辊(21)设置于所述工作腔(11)中，所述第一磁流体密封传动装置(210)设置于所述隔板(13)上，所述从动传动件(22)设置于所述传动腔(12)中；

动力机构，所述动力机构包括设置于所述容腔外部的动力装置(30)，所述动力装置(30)的输出端连接有转动安装于所述传动腔(12)的侧壁上的第二磁流体密封传动装置(31)，所述第二磁流体密封传动装置(31)的输出端连接有位于所述传动腔(12)中的主动传动件(32)，所述主动传动件(32)上设置有用于与所述从动传动件(22)相连接的传动机构；

抽真空装置，所述抽真空装置用于对工作腔(11)和传动腔(12)抽真空。

2.根据权利要求1所述的一种具有传动辊和磁流体密封传动装置的真空设备，其特征在于：

所述动力机构还包括活动安装于所述工作腔(11)中的主动辊(33)，所述主动辊(33)的一端连接有一活动安装于所述隔板(13)上的第三磁流体密封传动装置(34)，所述第三磁流体密封传动装置(34)的一端与所述主动传动件(32)相连接。

3.根据权利要求2所述的一种具有传动辊和磁流体密封传动装置的真空设备，其特征在于：

所述主动辊(33)与第三磁流体密封传动装置(34)之间通过一联轴器相连接。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种具有传动辊和磁流体密封传动装置的真空设备，其特征在于：

所述主动传动件(32)为一联轴器。

5.根据权利要求1所述的一种具有传动辊和磁流体密封传动装置的真空设备，其特征在于：

所述从动辊(21)与第一磁流体密封传动装置(210)之间通过一联轴器相连接。

6.根据权利要求1或5所述的一种具有传动辊和磁流体密封传动装置的真空设备，其特征在于：

所述从动传动件(22)为第一磁流体密封传动装置(210)延伸进所述传动腔(12)中的连接端部；

所述传动机构包括分别设置于所述连接端部和主动传动件(32)上的同步轮(50)，两个同步轮(50)之间套设有同步带(51)。

7.根据权利要求6所述的一种具有传动辊和磁流体密封传动装置的真空设备，其特征在于：

所述从动辊机构包括多组从动辊组件，相邻的从动辊组件之间设置有用于传动的传动装置。

8.根据权利要求1所述的一种具有传动辊和磁流体密封传动装置的真空设备，其特征在于：

所述抽真空装置包括用于抽真空的真空泵、与真空泵相连接的真空主管道(40)，所述真空主管道(40)连接有分别与所述工作腔(11)和传动腔(12)相连接的真空支管道(41)。

9.根据权利要求1所述的一种具有传动辊和磁流体密封传动装置的真空设备，其特征在于：

所述抽真空装置包括两个真空泵，每个真空泵分别连接有一条真空管道，其中一条真空管道与工作腔(11)相连通，另一条真空管道与所述传动腔(12)相连通。

10.根据权利要求1所述的一种具有传动辊和磁流体密封传动装置的真空设备，其特征在于：

还包括充气装置，所述充气装置包括与所述工作腔(11)和传动腔(12)相连接的充气管道(60)，所述充气管道(60)连接有气源。