[发明专利]单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置

权利要求书

1.一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法，单频激光干涉仪中包含：

至少一个能够提供单频激光的光源；

光路，所述光路中包括：偏振分光镜、第一反射镜和第二反射镜，其中，所述偏振分光镜适于将所述单频光源分为参考光束和测量光束，所述第一反射镜适于反射所述参考光束，所述第二反射镜适于反射所述测量光束；

至少一个能够检测干涉信号的光电探测器，所述干涉信号是经过所述第一反射镜反射得到的参考光束与所述第二反射镜反射得到的测量光束干涉形成的；

其特征在于，所述方法包括：

步骤一：将至少一个液晶相位延迟器放置于单频激光干涉仪的光路中，所述液晶相位延迟器适于改变所述参考光束与所述测量光束之间的相位差；

步骤二：通过至少一次改变至少一个所述液晶相位延迟器的工作电压，使得所述参考光束与测量光束之间的相位差产生连续的变化；

步骤三：提取所述干涉信号的特征参数；

步骤四：利用所提取到的特征参数，对单频激光干涉仪位移测量过程中的非线性误差进行修正。

2.根据权利要求1所述的单频激光干涉仪非线性误差修正方法，其特征在于：所述步骤一的实施过程中，所述液晶相位延迟器的位置选自所述光源与所述偏振分光镜之间以及所述偏振分光镜与所述光电探测器之间。

3.根据权利要求1所述的单频激光干涉仪非线性误差修正方法，其特征在于：所述步骤一的实施过程中，所述液晶相位延迟器的慢轴方向与所述参考光束或测量光束偏振方向相同。

4.根据权利要求1所述的单频激光干涉仪非线性误差修正方法，其特征在于：所述步骤四的实施过程中，应使得所述液晶相位延迟器的工作电压保持不变。

5.一种单频激光干涉仪非线性误差修正装置，该装置中包含：

至少一个能够提供单频激光的光源；

光路，所述光路中包括：偏振分光镜、第一反射镜和第二反射镜，其中，所述偏振分光镜适于将所述单频光源分为参考光束和测量光束，所述第一反射镜适于反射所述参考光束，所述第二反射镜适于反射所述测量光束；

至少一个能够检测干涉信号的光电探测器，所述干涉信号是经过所述第一反射镜反射得到的参考光束与所述第二反射镜反射得到的测量光束干涉形成的；

其特征在于：该装置还包含至少一个液晶相位延迟器，每一个所述液晶相位延迟器放置于所述光路中，所述液晶相位延迟器适于改变所述参考光束与所述测量光束之间的相位差。

6.根据权利要求5所述的单频激光干涉仪非线性误差修正装置，其特征在于：所述装置还包括：信号处理单元，耦接所述光电探测器，适于采集所述光电探测器输出的干涉信号，所述干涉信号的特征参数指示所述单频激光干涉仪位移测量过程中的非线性误差。

7.根据权利要求5所述的单频激光干涉仪非线性误差修正装置，其特征在于：所述液晶相位延迟器的位置选自所述光源与所述偏振分光镜之间以及所述偏振分光镜与所述光电探测器之间。

8.根据权利要求5所述的单频激光干涉仪非线性误差修正装置，其特征在于：所述液晶相位延迟器的慢轴方向与所述参考光束或测量光束偏振方向相同。