[发明专利]一种功率分配电感耦合线圈及具有其的等离子体处理装置

权利要求书

1.一种功率分配电感耦合线圈，其特征在于，

包括多个定值电容、多个可调电容和三组电感线圈，其中，第一线圈绕组和第二线圈绕组相互嵌套，为外圈绕组部分，第三线圈绕组为内圈绕组部分；

第一可调电容、第一线圈绕组、第一定值电容串联组成第一支路，第一定值电容末端接地；

按第二可调电容、第二线圈绕组、第二定值电容、第三线圈绕组、第三定值电容的次序串联组成第二支路，第三定值电容末端接地；

第一可调电容和第二可调电容的空闲端相连，使第一支路与第二支路形成并联。

2.根据权利要求1所述的功率分配电感耦合线圈，其特征在于，

所述第一线圈绕组、所述第二线圈绕组和所述第三线圈绕组由单个线圈绕组构成，或者由多个线圈绕组串联而成，或由多个线圈绕组并联而成，或由多个线圈绕组混联而成。

3.根据权利要求1所述的功率分配电感耦合线圈，其特征在于，

所述内圈绕组部分和/或外圈绕组部分是平面结构。

4.根据权利要求3所述的功率分配电感耦合线圈，其特征在于，

所述平面结构是平面螺旋线形，或者是圆弧线形，其中平面螺旋线形包括阿基米德螺旋线、渐开线或涡状线的形式。

5.根据权利要求1所述的功率分配电感耦合线圈，其特征在于，

内圈绕组部分和/或外圈绕组部分是立体结构。

6.根据权利要求5所述的功率分配电感耦合线圈，其特征在于，

所述立体结构是立体螺旋形状，并且沿上升方向其螺旋线的直径相同或直径渐小或直径渐大。

7.根据权利要求1所述的功率分配电感耦合线圈，其特征在于，

所述第一定值电容的电容值满足以下公式：

其中，C₁为第一定值电容的电容值，L₁为第一线圈绕组的电感值。

8.根据权利要求1所述的功率分配电感耦合线圈，其特征在于，

所述第二定值电容的电容值满足以下公式：

其中，C₂为第二定值电容的电容值，L₂为第二线圈绕组的电感值，L₃为第三线圈绕组的电感值。

9.根据权利要求1所述的功率分配电感耦合线圈，其特征在于，

所述第三定值电容的电容值满足以下公式：

其中，C₃为第三定值电容的电容值，L₃为第三线圈绕组的电感值。

10.一种等离子体处理装置，其特征在于，设置有权利要求1～9中任一项所述的功率分配电感耦合线圈，功率分配电感耦合线圈的一端通过射频匹配器与射频电源连接，功率分配电感耦合线圈的另一端接地。