[发明专利]一种管式PECVD石墨舟结构

权利要求书

1.一种管式PECVD石墨舟结构，其特征在于：包括陶瓷基座(200)、两个舟片锁紧盘组件(300)、两个陶瓷固定环(400)、石墨棒(500)和多个舟片(100)，所述舟片锁紧盘组件(300)包括陶瓷绝缘盘(310)和石墨导电盘(320)，所述石墨导电盘(320)上沿周向设有多个卡槽(321)和多个第一导电槽(322)，所述卡槽(321)与第一导电槽(322)均匀交错布置，所述陶瓷绝缘盘(310)上设有多个卡齿(311)，所述卡齿(311)与卡槽(321)的数量相等，且卡齿(311)可与卡槽(321)配合，所述卡齿(311)上设有第二导电槽(312)，两个舟片锁紧盘组件(300)固定在陶瓷基座(200)的前后两端，且前端的第一导电槽(322)与后端的第二导电槽(312)位于同一直线上，所述石墨棒(500)穿设于陶瓷基座(200)内，且石墨棒(500)前端与前端的石墨导电盘(320)之间绝缘连接，石墨棒(500)后端与后端的石墨导电盘(320)之间为导电连接，所述石墨棒(500)的前端具有第一电极孔(501)，所述石墨导电盘(320)上设有第二电极孔(301)，所述陶瓷固定环(400)具有开口，两个陶瓷固定环(400)的通过各自的开口分别固定在陶瓷基座(200)两端，且陶瓷固定环(400)的直径大于石墨导电盘(320)的直径，所述陶瓷基座(200)上设有安装柱面(210)，所述安装柱面(210)上设有多个周向均匀布置的舟片安装槽(211)，所述陶瓷固定环(400)上设有多个固定槽(401)，所述舟片(100)可沿轴向插入舟片安装槽(211)内，所述舟片(100)前端同时卡在前端的第一导电槽(322)和陶瓷固定环(400)的固定槽(401)内，所述舟片(100)的后端同时卡在后端的第二导电槽(312)和陶瓷固定环(400)的固定槽(401)内。

2.根据权利要求1所述的管式PECVD石墨舟结构，其特征在于：沿着陶瓷基座(200)的轴向设有多个陶瓷连接环(600)，所述陶瓷连接环(600)具有开口，所述陶瓷连接环(600)依次穿过各舟片(100)，并通过开口的两端固定在陶瓷基座(200)上，所述陶瓷连接环(600)的直径大于石墨导电盘(320)的直径。

3.根据权利要求1所述的管式PECVD石墨舟结构，其特征在于：所述舟片(100)的每一面设有多组用于卡住硅片的卡点(101)，各组卡点(101)沿轴向均匀布置，每组卡点(101)包括三个卡点(101)，一个卡点(101)位于一端，另外两个卡点(101)位于另一端，且三个卡点(101)之间形成等腰三角形结构，在舟片(100)安装在陶瓷基座(200)上之后，具有一个卡点(101)的一端位于外侧。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的管式PECVD石墨舟结构，其特征在于：所述舟片安装槽(211)为T形槽，且T形槽的竖槽(2111)朝外，所述舟片(100)上设有可与T形槽的横槽(2112)配合的凸条(102)。

5.根据权利要求1至3任意一项所述的管式PECVD石墨舟结构，其特征在于：所述石墨导电盘(320)具有台阶孔(323)，所述石墨棒(500)的前端穿设在台阶孔(323)内，且二者之间设有绝缘凸环(220)，所述绝缘凸环(220)固定在这一端的陶瓷基座(200)上。

6.根据权利要求5所述的管式PECVD石墨舟结构，其特征在于：所述石墨棒(500)的后端与这一端的石墨导电盘(320)的台阶孔(323)的台阶相抵接。

7.根据权利要求1至3任意一项所述的管式PECVD石墨舟结构，其特征在于：所述陶瓷基座(200)为倒V字形结构。

8.根据权利要求1至3任意一项所述的管式PECVD石墨舟结构，其特征在于：所述陶瓷固定环(400)的圆心角大于180°。