[发明专利]一种吸附平台及薄膜贴附系统有效
申请号: | 201811354269.4 | 申请日: | 2018-11-14 |
公开(公告)号: | CN109483866B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 朱宏磊;陈伟;冯杰 | 申请(专利权)人: | 张家港康得新光电材料有限公司 |
主分类号: | B29C63/02 | 分类号: | B29C63/02;B29C63/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 215634 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 吸附 平台 薄膜 系统 | ||
1.一种薄膜贴附系统,用于将待贴合的薄膜贴合到基板上,其特征在于,包括:吸附平台以及滚轮;
所述吸附平台包括:吸附平板,用于吸附待贴合的薄膜;
至少一个隔垫物,所述隔垫物固定于所述吸附平板的一侧;其中,所述吸附平板吸附所述待贴合的薄膜后,所述隔垫物位于所述吸附平板与所述待贴合的薄膜之间,且所述隔垫物顶起所述待贴合的薄膜,使所述待贴合的薄膜与所述隔垫物的至少一侧和所述吸附平板之间形成空隙;
将待贴合的薄膜进行贴合时,所述滚轮沿着贴合方向按压所述待贴合的薄膜远离所述基板一侧的表面,所述待贴合的薄膜沿着所述贴合方向逐渐与所述吸附平板分离。
2.根据权利要求1所述的薄膜贴附系统,其特征在于,所述隔垫物呈条状;所述隔垫物的延伸方向与贴合方向之间的夹角小于等于预设值,且所述预设值小于90°;将所述待贴合的薄膜进行贴合时,所述待贴合的薄膜沿着所述贴合方向逐渐与所述吸附平板分离。
3.根据权利要求2所述的薄膜贴附系统,其特征在于,所述吸附平台包括多个间隔且平行排列的隔垫物。
4.根据权利要求2所述的薄膜贴附系统,其特征在于,所述隔垫物的延伸方向与所述贴合方向一致。
5.根据权利要求4所述的薄膜贴附系统,其特征在于,所述吸附平板包括多个阵列排布的吸附孔;
垂直于所述贴合方向上,所述隔垫物的宽度小于等于相邻两个所述吸附孔边缘之间的距离。
6.根据权利要求1所述的薄膜贴附系统,其特征在于,所述隔垫物为胶带,所述胶带与所述吸附平板粘结固定,所述胶带背离所述吸附平板一侧表面光滑。
7.根据权利要求1所述的薄膜贴附系统,其特征在于,所述吸附平板包括多个阵列排布的吸附孔;
所述隔垫物与所述吸附孔无交叠。
8.根据权利要求1所述的薄膜贴附系统,其特征在于,所述隔垫物的厚度为0.5-3mm。
9.根据权利要求1所述的薄膜贴附系统,其特征在于,所述隔垫物呈圆形状、椭圆形状、网格状或者螺旋状。
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