[发明专利]机台数量确定方法及装置、处理线、存储介质和电子设备

说明书

本发明公开了一种机台数量确定方法及装置、处理线、存储介质和电子设备，涉及半导体制造技术领域。该机台数量确定方法包括：基于处理线上各站点内机台的工作数据生成一随机数表；以模拟的方式逐渐增加处理线上一目标站点内机台的数量，直至基于随机数表确定出的增加机台后的处理线的处理时间与增加机台前的处理线的处理时间之间的差小于一阈值；将增加机台后的机台数量确定为目标站点的机台数量。本公开可以通过模拟的方式确定出合适的站点机台组合。

技术领域

本公开涉及半导体制造技术领域，具体而言，涉及一种机台数量确定方法、机台数量确定装置、处理线、存储介质和电子设备。

背景技术

通信、电子行业的革新离不开半导体技术的发展。半导体制造工艺复杂，主要包括光刻、蚀刻、离子注入、薄膜沉积和化学机械研磨等流程。在实际生产制造过程中存在几百至上千个步骤。

可以将每一个工艺步骤对应一个站点，站点中配备有一个或多个用于工艺生产的机台。半导体生产中，机台往往价格昂贵，并且需要配备维护成本。解决如何在生产线上将各站点的机台数量配置合理的问题，一方面，有助于生产的正常流转，避免待加工晶圆在一节点出现等待时间过长的问题；另一方面，有助于企业合理配置资金、人力等成本。

目前，针对确定站点内机台数量，主要通过测量的各站点间晶圆的数量以及晶圆等待的时间来增加或减少机台数量。然而，这种处理方式未考虑到整个生产线的情况，导致其他站点出现机台处理瓶颈的问题。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于提供一种机台数量确定方法、机台数量确定装置、处理线、存储介质和电子设备，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的无法较好地确定出各站点机台数量的问题。

根据本公开的一个方面，提供一种机台数量确定方法，包括：基于处理线上各站点内机台的工作数据生成一随机数表；以模拟的方式逐渐增加处理线上一目标站点内机台的数量，直至基于随机数表确定出的增加机台后的处理线的处理时间与增加机台前的处理线的处理时间之间的差小于一阈值；将增加机台后的机台数量确定为目标站点的机台数量。

可选地，机台数量确定方法还包括：基于随机数表确定增加机台后目标站点内机台的正常工作时间和非正常工作时间；根据增加机台后目标站点内机台的正常工作时间和非正常工作时间确定增加机台后目标站点的处理时间；根据增加机台后目标站点的处理时间以及处理线上除目标站点外站点的处理时间确定处理线的处理时间。

可选地，机台数量确定方法还包括：基于随机数表按预设模拟次数n确定处理线的n个处理时间；其中，n为正整数；确定n个处理时间的平均值作为处理线的处理时间。

可选地，基于处理线上各站点内机台的工作数据生成一随机数表包括：获取处理线上各站点内机台的工作数据；根据各站点内机台的工作数据确定各站点内机台的统计数据；基于各站点内机台的工作数据和统计数据生成随机数表。

可选地，工作数据包括机台正常工作时间、机台宕机日期、机台宕机修复时间。

可选地，将增加机台后的机台数量确定为目标站点的机台数量包括：判断增加机台后的机台数量是否大于一预设数量；如果增加机台后的机台数据不大于预设数量，则将增加机台后的机台数量确定为目标站点的机台数量。

根据本公开的一个方面，提供一种机台数量确定装置，包括随机数表生成模块、机台数量增加模块和机台数量确定模块。