[发明专利]有机物沉积装置以及利用此的有机物沉积方法

权利要求书

1.一种有机物沉积装置，设置于真空腔室内，其中，包括：

至少一个沉积物质供应部；

容器部，存储从所述沉积物质供应部供应的至少一个沉积物质；

气化部，在内部设置有使所述沉积物质气化的第一加热器；

移送部，结合于所述容器部，借助直线往复运动而将所述容器部移送至所述气化部的内部；以及

喷嘴部，与所述气化部分离布置，且借助连接管而与所述气化部连通，并具有向基板喷射沉积物质的通道。

2.如权利要求1所述的有机物沉积装置，其中，

在所述气化部布置有使所述容器部进入的投入口，

在所述移送部结合有密封板，所述密封板在移送所述容器部时位于所述投入口而将气化部的内部封闭。

3.如权利要求1所述的有机物沉积装置，其中，

在所述气化部、连接管、喷嘴部的内部或外部布置有第二加热器，以防止被气化的沉积物质沉积在所述气化部、连接管、喷嘴部的内部，

施加到所述第一加热器的温度与施加到第二加热器的温度相同或高于施加到第二加热器的温度。

4.如权利要求1所述的有机物沉积装置，其中，

在所述连接管设置有开关阀，所述开关阀连接于感测沉积在所述基板上的沉积物质的量的传感器，从而根据沉积量开闭所述连接管的通道，

并且，设置有旁通管，所述旁通管与所述连接管连通，并具有开闭旁通管的通道的旁通阀，以将残留于所述连接管的通道的沉积物质排出到外部。

5.如权利要求1所述的有机物沉积装置，其中，

在所述腔室的外部还设置有向所述沉积物质供应部供应沉积物质的外部供应装置，

在所述外部供应装置配备有存储所述沉积物质的存储容器，

在所述沉积物质供应部与存储容器之间设置有闸阀，所述闸阀将向沉积物质供应部供应所述沉积物质的通道开闭。

6.一种有机物沉积装置，设置于真空腔室内，其中，包括：

多个沉积物质供应部；

多个容器部，存储从所述沉积物质供应部供应的多个沉积物质；

气化部，在内部设置有使所述沉积物质气化的第一加热器；

移送部，安装有所述容器部，并借助于旋转及升降运动而使所述多个容器部中的任意一个容器部被移送至所述气化部的内部；以及

喷嘴部，与所述气化部分离布置，且借助连接管而与所述气化部连通，并具有向基板喷射沉积物质的通道。

7.如权利要求6所述的有机物沉积装置，其中，

所述移送部包括转台，在所述移送部的下部设置有使所述移送部旋转及升降的驱动部，

所述多个容器部沿着所述移送部的圆周方向而相隔布置，

所述多个沉积物质供应部分别位于多个容器部上，

所述气化部位于所述容器部中的某一个容器部上。

8.如权利要求6所述的有机物沉积装置，其中，

在所述气化部布置有使所述容器部进入的投入口，

在所述容器部的下端结合有密封板，所述密封板在移送所述容器部时位于所述投入口而将所述气化部的内部封闭。

9.如权利要求6所述的有机物沉积装置，其中，

在所述连接管设置有开关阀，所述开关阀连接于感测沉积在所述基板上的沉积物质的量的传感器，从而根据沉积量开闭所述连接管的通道，

并且，设置有旁通管，所述旁通管与所述连接管连通，并具有开闭旁通管的通道的旁通阀，以将残留于所述连接管的通道的沉积物质排出到外部。

10.一种有机物沉积方法，包括如下步骤：

从至少一个沉积物质供应部向容器部供应至少一个沉积物质；

使结合于移送部的容器部进行直线往复运动，从而将所述容器部通过气化部的投入口移送至气化部的内部；

将设置于所述气化部的内部的第一加热器加热而使沉积物质气化；以及使气化的沉积物质通过彼此分离布置的气化部与喷嘴部之间的连接管而流动，并通过所述喷嘴部喷射，从而沉积在基板上。