[发明专利]MEMS热膜式流量传感器恒温差控制电路

权利要求书

1.一种MEMS热膜式流量传感器恒温差控制电路，其特征在于，包括：第一温度检测电阻、第二温度检测电阻、加热电阻、闭环反馈电路、第一恒流源、第二恒流源；

所述第一温度检测电阻设置在传感器的进气口处，所述加热电阻和所述第二温度检测电阻相邻设置在所述传感器的中部；

所述第一恒流源与所述第一温度检测电阻的一端连接，所述第二恒流源与所述第二温度检测电阻的一端连接；

所述第一恒流源与所述第一温度检测电阻的第一共接端接入所述闭环反馈电路的第一输入端，所述第二恒流源与所述第二温度检测电阻的第二共接端接入所述闭环反馈电路的第二输入端；所述闭环反馈电路的输出端与所述加热电阻连接；

所述第一温度检测电阻的阻值为R₁＝R_1-0+k₁T₁，其中R_1-0为第一温度检测电阻0℃时的阻值，k₁为第一温度检测电阻的温度系统，T₁为传感器进气口温度；

所述第二温度检测电阻的阻值为R₄＝R_4-0+k₄T₂，其中R_4-0为第二温度检测电阻0℃时的阻值，k₄为第二温度检测电阻的温度系统，T₂为传感器加热区温度；

所述第一恒流源电流为I₁，所述第二恒流源电流为I₂，所述R_1-0、R_4-0、k₁和k₄满足关系：

R₁I₁-R₄I₂＝R_1-0I₁+k₁T₁I₁-R_4-0I₂-k₄T₂I₂＝0，其中T₂-T₁＝ΔT，ΔT为传感器进气口处与加热区的恒定温度差。

2.如权利要求1所述的MEMS热膜式流量传感器恒温差控制电路，其特征在于，所述闭环反馈电路包括：差分放大器和三极管；

所述差分放大器的同相输入端为所述闭环反馈电路的第一输入端，所述差分放大器的反向输入端为所述闭环反馈电路的第二输入端，所述差分放大器的输出端与所述三极管的基极连接，所述三极管发射极为所述闭环反馈电路的输出端。

3.如权利要求1所述的MEMS热膜式流量传感器恒温差控制电路，其特征在于，所述第一温度检测电阻的另一端接地。

4.如权利要求1所述的MEMS热膜式流量传感器恒温差控制电路，其特征在于，所述第二温度检测电阻的另一端接地。

5.如权利要求1至4任一项所述的MEMS热膜式流量传感器恒温差控制电路，其特征在于，还包括模数转化器和滤波器；所述模数转化器的输入端与所述闭环反馈电路的第一输入端连接，所述模数转化器的输出端与所述滤波器连接，所述滤波器的输出端输出的数字信号用于后级传感器的温度补偿。

6.一种MEMS热膜式流量传感器，其特征在于，包括ASIC芯片，所述ASIC芯片上设有如权利要求1至5任一项所述的MEMS热膜式流量传感器恒温差控制电路。