[发明专利]用于卷对卷沉积的滚筒、卷对卷沉积设备以及膜卷

权利要求书

1.一种滚筒，所述滚筒用于卷对卷沉积，所述滚筒绕纵轴旋转，所述滚筒的横向截面是圆形的，并且具有如下的形状：相对的纵向边缘部分分别具有比纵向中央部分小的宽度。

2.根据权利要求1所述的滚筒，其中，所述滚筒的宽度从所述纵向中央部分朝向所述相对的纵向边缘部分逐渐减小。

3.根据权利要求1所述的滚筒，其中，所述相对的纵向边缘部分的宽度分别为所述纵向中央部分的宽度的90％以上。

4.根据权利要求1所述的滚筒，其中，加热元件设置在用于卷对卷沉积的所述滚筒的表面上或内部。

5.一种卷对卷沉积设备，包括：

卷出辊，连续地供应柔性基板；

滚筒，与从所述卷出辊供应的所述柔性基板的下表面接触并围绕所述滚筒的纵轴旋转，所述滚筒的横向截面是圆形的并且具有如下的形状：相对的纵向边缘部分分别具有比纵向中央部分小的宽度；

气体供应器，具有面对所述滚筒的表面，所述气体供应器将工艺气体供应到所述柔性基板的上表面；

卷绕辊，卷绕从所述滚筒转移的所述柔性基板。

6.根据权利要求5所述的卷对卷沉积设备，其中，所述滚筒的宽度从所述滚筒的纵向中央部分朝向所述滚筒的相对的纵向边缘部分逐渐减小。

7.根据权利要求5所述的卷对卷沉积设备，其中，所述滚筒的相对的纵向边缘部分的宽度分别为所述滚筒的纵向中央部分的宽度的90％以上。

8.根据权利要求5所述的卷对卷沉积设备，还包括在所述卷出辊与所述滚筒之间的多个辊，

其中，所述多个辊中的至少一个辊的横向截面是圆形的，并且具有如下的形状：相对的纵向边缘部分分别具有比纵向中央部分窄的宽度。

9.根据权利要求5所述的卷对卷沉积设备，其中，所述气体供应器不仅在所述滚筒的宽度方向上具有凹面，而且在所述滚筒的纵向方向上具有凹面。

10.一种膜卷，所述膜卷具有卷绕的柔性基板，其中，由有机物质和无机物质中的至少一种制成的沉积层沉积在所述柔性基板上，并且所述沉积层的横向厚度变化为5％以下。