[发明专利]一种激光光束终端指向检测与校正方法及激光加工装置

权利要求书

1.一种激光光束终端指向检测与校正方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：分光；

采用分光元件，将从振镜系统出射的激光光束分为激光加工光束及激光检测光束；

步骤二：采集激光检测光束并标定，获得目标光斑；

2.1、引入视觉系统，用于采集激光检测光束，根据光程共轭原理确定分光元件、视觉系统的位置；调整分光元件与视觉系统的位置，使激光终端的指向偏移量等于激光光束终端指向视觉系统靶面中光斑的偏移量；

2.2、在光束指向稳定时，视觉系统采集激光检测光束，获得目标光斑位置；

步骤三：采集实时光斑；

视觉系统在线采集加工过程中的激光检测光束，获取实时光斑的位置；

步骤四：获取激光加工光束的偏移量；

对比实时光斑的位置与步骤三获取的目标光斑位置；若实时光斑与目标光斑的位置不符，则通过图像处理算法解算实时光斑与目标光斑的位置偏差，获得激光加工光束的偏移量；若实时光斑与目标光斑的位置无偏差，则继续进行加工；

步骤五：反馈控制；

视觉系统将步骤四获得的偏移量反馈至振镜系统，振镜系统根据接收的偏移量调节内部反光镜对光路进行调整，实现激光光束指向校正。

2.根据权利要求1所述的激光光束终端指向检测与校正方法，其特征在于：还包括步骤六：对矫正后的激光光束进行识别校验；

视觉系统采集校正后加工过程中的激光检测光束，获得校正后的光斑位置，重复步骤四与步骤五。

3.根据权利要求2所述的激光光束终端指向检测与校正方法，其特征在于：步骤五中反光镜为电动反光镜，振镜系统根据接收的偏移量分别调节两个空间分布的电动反光镜的偏移实现光路调整。

4.根据权利要求3所述的激光光束终端指向检测与校正方法，其特征在于：所述视觉系统为高分辨率高帧频CCD相机或CMOS相机。

5.根据权利要求4所述的激光光束终端指向检测与校正方法，其特征在于：所述分光元件为分光镜。