[发明专利]一种不产生臭氧的冷等离子体发生装置在审

专利信息
申请号: 201811362647.3 申请日: 2018-11-15
公开(公告)号: CN109392231A 公开(公告)日: 2019-02-26
发明(设计)人: 龙虎;张敬业;陈锦坤;梁森浩 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: H05H1/24 分类号: H05H1/24
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 覃婧婵
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 臭氧 陶瓷薄片 冷等离子体 单向气流 发生装置 高压电源 通气管道 喷嘴 导通 气泵 气室 等离子体 玻璃 高压电极 地电极 超标 室内 暴露 损害
【权利要求书】:

1.一种不产生臭氧的冷等离子体发生装置,包括:陶瓷薄片、气室、气泵、单向气流导通喷嘴和高压电源;

所述陶瓷薄片位于所述气室内;

所述气室的一侧通过玻璃通气管道连接有所述气泵,另一侧通过玻璃通气管道连接有所述单向气流导通喷嘴;

所述高压电源分别通过高压电极和地电极与所述陶瓷薄片相连。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,优选的,所述陶瓷薄片的外表面镀有Co3O4-MnO2催化剂薄膜。

3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述气室的制备材料包括石英或其他化学性质稳定的无机绝缘材料。

4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述气泵为低压直流气泵。

5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述高压电源包括如下任一:正弦交流电源、高压脉冲电源和高压PWM电源。

6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述高压电极的制备材料包括如下任一:银、铂、铝。

7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述高压电极为圆环状。

8.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述地电极的形状包括如下任一:网状四方形、三角形、网状六边形。

9.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述玻璃通气管道的直径为1-1.5cm,长度为5-10cm。

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