[发明专利]一种基于法布里珀罗腔的微型化高温传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种微型化高温传感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将耐高温传输光纤加热至所述耦合介质的熔融温度，与耦合介质对准压紧至交叠；

(2)将耐高温传感光纤加热至所述耦合介质的熔融温度，与所述耦合介质对准压紧至交叠；

(3)将交叠的耐高温传输光纤、耦合介质、以及耐高温传感光纤冷却固定；

所述微型化高温传感器为基于法布里珀罗腔的微型化高温传感器，其包括耐高温传输光纤、耦合介质、以及耐高温传感光纤；

所述耐高温传输光纤、耦合介质以及耐高温传感光纤轴向对准连接，其中所述耐高温传输光纤与所述耦合介质的对准连接面与中心轴呈交角，所述耦合介质与所述耐高温传感光纤的对准连接面与中心轴垂直；

所述耐高温传输光纤，用于将光源输出的光信号传输到耦合介质中；

所述耦合介质，用于形成法布里珀罗腔入射光，其折射率n₂满足1≤n₂≤2，其光透过率≥80％；

所述耐高温传感光纤，其两端平行，用于形成法布里珀罗腔。

所述耐高温传输光纤的熔点高于所述耦合介质的熔点；

所述耐高温传感光纤的熔点高于所述耦合介质的熔点。

2.如权利要求1所述的微型化高温传感器的制作方法，其特征在于，所述耐高温传输光纤折射率n₁满足1.3≤n₁≤2.0，其光透过率≥80％，其芯径与数值孔径之积等于所述耐高温传感光纤芯径与数值孔径之积。

3.如权利要求1所述的微型化高温传感器的制作方法，其特征在于，所述耐高温传感光纤折射率n₃满足1.3≤n₃≤2.0，其光透过率≥80％，其两个光纤端面均抛光，其长度L满足10μm≤L≤600μm。

4.如权利要求1所述的微型化高温传感器的制作方法，其特征在于，所述耐高温传输光纤为蓝宝石光纤或者红宝石光纤；所述耦合介质为石英玻璃、玻璃毛细管、石英玻璃Grin透镜或耦合光纤；耐高温传感光纤为氧化锆、蓝宝石或红宝石光纤。

5.如权利要求4所述的微型化高温传感器的制作方法，其特征在于，所述耦合光纤为普通多模光纤、空芯光纤或光子晶体光纤，其有效模场直径大于或等于耐高温传输光纤的有效模场直径。

6.如权利要求1所述的微型化高温传感器的制作方法，其特征在于，所述耐高温传输光纤与所述耦合介质的对准连接面与中心轴的交角在4°至12°之间。

7.如权利要求1至6任意一项所述的微型化高温传感器的制作方法，其特征在于，所述耐高温传感光纤两个平行端面上镀有高反射膜，其反射率≥98％，膜层材料熔点≥1000℃。

8.如权利要求1所述的微型化高温传感器的制作方法，其特征在于，所述耐高温传输光纤，其与所述耦合介质的对准连接面与中心轴呈交角。

9.如权利要求8所述的微型化高温传感器的制作方法，其特征在于，还包括步骤：

(4)将所述耐高温传感光纤两个端面平行切割，进行研磨抛光处理；将所述耐高温传感光纤放入等离子蒸镀炉中，在抛光后的端面上蒸镀多层介质高反射膜，反射率≥98％，膜层材料熔点≥1000℃。

10.一种基于法布里珀罗腔的微型化高温传感器，其特征在于，按照如权利要求1至9任意一项所述的微型化高温传感器的制作方法制作。