[发明专利]使用冷凝手段的表面检测装置及其方法

权利要求书

1.一种表面检测装置，用于检测一待测物件的一表面，其特征在于，该表面检测装置包含：

一气流产生器，位于该待测物件上方，配置以朝向该待测物件的该表面喷射一蒸气气流而在该表面上形成一冷凝层；

一发光元件，位于该待测物件上方且朝向该冷凝层，配置以对该冷凝层投射一光线；以及

一感光元件，位于该待测物件上方，配置以接收被该冷凝层所散射的该光线。

2.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，该气流产生器包含：

一温度调节器，配置以控制该蒸气气流的一温度；

一湿度调节器，配置以控制该蒸气气流的一湿度；以及

一风速调节器，配置以控制该蒸气气流的一风速。

3.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，该气流产生器的该蒸气气流的方向与该发光元件的该光线的方向夹有一锐角。

4.根据权利要求1所述的表面检测方法，其特征在于，该冷凝层中包含：

多个水粒子，所述多个水粒子的半径介于0.1微米至100微米之间。

5.一种表面检测装置，用于检测一待测物件的一表面，其特征在于，该表面检测装置包含：

一气流产生器，配置以喷射一蒸气气流；

一平台，设置于该气流产生器下方，配置以支撑该待测物件，并移动该待测物件经过该气流产生器下方而在该待测物件的该表面上形成一冷凝层；

一发光元件，设置于该平台上方，配置以朝向该冷凝层投射一光线；以及一感光元件，设置于该平台上方，配置以接收被该冷凝层所散射的该光线。

6.根据权利要求5所述的表面检测装置，其特征在于，该气流产生器包含：

一温度调节器，配置以控制该蒸气气流的一温度；

一湿度调节器，配置以控制该蒸气气流的一湿度；以及

一风速调节器，配置以控制该蒸气气流的一风速。

7.根据权利要求5所述的表面检测装置，其特征在于，该平台进一步包含：

一移动组件，该待测物件位于该移动组件上，该移动组件配置以在第一时间将该待测物件移动至该气流产生器下方，并在第二时间将该待测物件移动至该发光元件下方。

8.一种表面检测方法，用以检测一待测物件的一表面，其特征在于，该表面检测方法包含：

使用一气流产生器朝向该表面喷射一蒸气气流，并在该表面上形成一冷凝层；

使用一发光元件朝向该冷凝层投射一光线；以及

使用一感光元件接收被该冷凝层散射的该光线。

9.根据权利要求8所述的表面检测方法，其特征在于，进一步包含：

控制该蒸气气流的一温度及一湿度，以使该蒸气气流的一露点温度高于该待测物件的一温度；以及

控制该蒸气气流的一风速。

10.根据权利要求8所述的表面检测方法，其特征在于，该散射为米式散射。