[发明专利]一种加氢缓蚀剂

权利要求书

1.一种加氢缓蚀剂，其特征在于包括如下质量分数的组分：水溶性季铵盐8～12％、分散剂1～5％、单乙醇胺2～5％、水溶性咪唑啉化合物4～10％、炔醇化合物1～5％、含氮吸附型缓蚀剂4～15％，余量为水。

2.根据权利要求1所述的加氢缓蚀剂，其特征在于所述的水溶性季铵盐由以下方法制备得到：将复合烷基吡啶溶于高沸点有机溶剂，在温度70-80℃下开始滴加氯化苄，滴加过程中控制体系温度不超过140℃，滴加结束后，升温至140℃恒温反应6-8小时，反应结束后降温至100℃以下，滴加低沸点有机溶剂；其中，复合烷基吡啶和氯化苄、高沸点有机溶剂、低沸点有机溶剂和的质量比为9:6:0.3:1.2；所述的高沸点有机溶剂为DMF，低沸点有机溶剂为甲醇。

3.根据权利要求1所述的加氢缓蚀剂，其特征在于所述的分散剂为聚异丁烯丁二酰亚胺。

4.根据权利要求3所述的加氢缓蚀剂，其特征在于所述的聚异丁烯丁二酰亚胺是以聚异丁烯为原料，先与马来酸酐烃化反应得到聚异丁烯丁二酸酐，再与四乙烯五胺胺化反应得到的；其中，所述的聚异丁烯的分子量为2300，分子量分布为1.8，α-烯烃含量为88％。

5.根据权利要求1所述的加氢缓蚀剂，其特征在于所述的水溶性咪唑啉化合物为环烷酸咪唑啉。

6.根据权利要求1所述的加氢缓蚀剂，其特征在于所述的炔醇化合物为丙炔醇。

7.根据权利要求1所述的加氢缓蚀剂，其特征在于所述的含氮吸附型缓蚀剂为苯骈三氮唑。

8.权利要求1所述的加氢缓蚀剂的制备方法，其特征在于包括：将水、水溶性季铵盐、分散剂搅拌均匀，降温至30℃；然后加入含氮吸附型缓蚀剂，搅拌使其充分溶解，最后加入水溶性咪唑啉化合物、炔醇化合物、单乙醇胺，搅拌均匀即可。