[发明专利]电离真空计保护装置

权利要求书

1.一种电离真空计保护装置，其特征在于：所述电离真空计保护装置包括缓冲管(2)、螺旋管(3)、金属栅网(4)以及金属栅网负电位电源(5)；所述缓冲管(2)包括第一缓冲管以及第二缓冲管；所述第一缓冲管通过螺旋管(3)与第二缓冲管相连通；所述金属栅网(4)置于第二缓冲管中并与置于第二缓冲管外部的金属栅网负电位电源(5)相连；所述第二缓冲管接地。

2.根据权利要求1所述的电离真空计保护装置，其特征在于：所述螺旋管(3)的螺旋外径是12mm-200mm。

3.根据权利要求2所述的电离真空计保护装置，其特征在于：所述螺旋管(3)的螺旋外径是15mm-150mm。

4.根据权利要求3所述的电离真空计保护装置，其特征在于：所述第一缓冲管的长度、第二缓冲管的长度以及螺旋管(3)在成型前的长度的长度之和不大于500mm。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的电离真空计保护装置，其特征在于：所述金属栅网(4)的目数不大于200目。

6.根据权利要求5所述的电离真空计保护装置，其特征在于：所述金属栅网(4)的目数是100-150目。

7.根据权利要求6所述的电离真空计保护装置，其特征在于：所述金属栅网(4)通过绝缘管支架(7)设置在第二缓冲管中。

8.根据权利要求7所述的电离真空计保护装置，其特征在于：所述金属栅网(4)通过电极引线(8)与置于第二缓冲管外部的金属栅网负电位电源(5)相连；所述金属栅网负电位电源(5)的电压是1KV。

9.根据权利要求8所述的电离真空计保护装置，其特征在于：所述电离真空计保护装置还包括分别设置在第一缓冲管端部以及第二缓冲管端部的待测腔体端法兰(1)以及传感器端法兰(6)。

10.根据权利要求9所述的电离真空计保护装置，其特征在于：所述第一缓冲管以及第二缓冲管均是不锈钢直管；所述第一缓冲管的管径以及第二缓冲管的管径不大于8mm。