[发明专利]一种探针台台面气动升降系统

说明书

本发明公开了一种探针台台面气动升降系统，其特征在于：包括扩展底板、对称固定在扩展底板上端两侧的一对侧板、分别贴合侧板设置的两对气缸立柱、架设在气缸立柱上端的探针台台面及控制箱，所述气缸立柱贴合设置在侧板长轴方向的两端，并通过螺丝固定在扩展底板上端面，所述气缸立柱与探针台台面之间设置有薄型气缸；本发明采用了气动升降系统，可以实现探针台台面的高精度升降；装置中选用了市场主流的薄型气缸，减少安装空间缸体强度强，允许承载高质量的负载，同时体积小，方便设计安装，不占用空间；设备整体外观更加简洁，原因是使用薄型气缸进行升降操作，减少设备在进行台面升降过程中的机械连接部分，可以做到优化设备外观。

技术领域

本发明涉及探针台技术领域，特别是涉及一种探针台台面气动升降系统。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试；并广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

手动探针台主要用途是为半导体芯片测试提供一个测试平台,配合测量仪器完成集成电路的电压、电流、电阻、电容等半导体参数测试分析；针对半导体电性测试要求越来越高，要求我们在进行具体的探针下针过程中，要求探针扎针的精度要高，探针针座摆放的探针台台面升降同样要求高精度的升降移动。因此本发明在手动探针台上面进行探针台的台面升降部分进行研发升级，现有市场探针台产品的台面升降主要操作是采用机械联动的方式进行，探针台台面升降精度误差大，长时间使用因为机械磨损问题导致故障率高；因此针对上述不足，本发明研制了一种探针台台面气动升降系统，以解决现有技术中存在的问题，经检索，未发现与本发明相同或相似的技术方案。

发明内容

为了克服上述现有技术的不足，本发明提供了一种探针台台面气动升降系统，以解决现有技术中通过机械联动方式控制台面升降所导致的精度误差大，机械磨损故障率高的问题。

为达到上述目的，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种探针台台面气动升降系统，包括扩展底板、对称固定在扩展底板上端两侧的一对侧板、分别贴合侧板设置的两对气缸立柱、架设在气缸立柱上端的探针台台面及控制箱，所述气缸立柱贴合设置在侧板长轴方向的两端，并通过螺丝固定在扩展底板上端面，所述气缸立柱与探针台台面之间设置有薄型气缸；

所述气缸立柱上端具有一空腔，空腔下端设置有四个螺纹孔；所述薄型气缸包括缸体及与缸体同轴设置的活塞杆；所述缸体下端通过螺丝与螺纹孔螺纹连接；所述活塞杆上端呈螺纹状，并具有一螺纹配合的螺母；所述探针台台面四个顶角处分别具有一与活塞杆同轴设置的安装孔，所述安装孔沿竖直方向的截面呈T型，下端供活塞杆插接配合，上端供螺母安装锁紧。

进一步的，所述活塞杆上端呈螺纹状结构的外径小于活塞杆下端结构的外径。

由于上述技术方案的运用，本发明与现有技术相比具有下列有益效果：

(1)本发明采用了气动升降系统，精度高误差小，可以实现探针台台面的高精度升降；装置中选用了市场主流的薄型气缸，减少安装空间缸体强度强，允许承载高质量的负载，同时体积小，方便设计安装，不占用空间；设备整体外观更加简洁，原因是使用薄型气缸进行升降操作，减少设备在进行台面升降过程中的机械连接部分，可以做到优化设备外观。

(2)活塞杆上端呈螺纹状结构的外径小于活塞杆下端结构的外径，用于支撑探针台台面，保证结构设计的合理性。

附图说明

图1是本发明所述结构的示意图；

图2是本发明所述探针台台面与薄型气缸的连接结构示意图；

图中1、扩展底板，2、侧板，3、气缸立柱，4、探针台台面，5、控制箱，6、空腔，7、缸体，8、活塞杆，9、螺丝，10、螺母，11、安装孔。