[发明专利]衬底运输真空平台

权利要求书

1.一种用于运输衬底的装置，包括：

设备，被配置为将至少一个衬底支撑在其上；以及

运输机，所述设备连接到所述运输机，其中所述运输机被配置为承载所述设备，其中所述运输机包括：

第一支撑件，包括第一电容性接口；以及

第二支撑件，包括第二电容性接口，

其中所述第二支撑件沿线性路径可移动地连接到所述第一支撑件，并且其中所述第一电容性接口和所述第二电容性接口被确定大小、成形和相对于彼此定位以提供非接触式电容性功率耦合并且允许在所述第一电容性接口和所述第二电容性接口之间的热传递。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述电容性接口包括交错的相对表面，所述交错的相对表面被配置为根据压力通过辐射和对流来将热传递到彼此。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述装置包括：

至少一个磁性轴承，所述至少一个磁性轴承至少部分地将所述第一支撑件和所述第二支撑件耦合到彼此，其中所述磁性轴承中的第一磁性轴承包括第一永磁体和第二磁体，其中所述第一永磁体连接到所述第一支撑件；以及

磁场调节器，所述磁场调节器连接到所述第一支撑件，所述磁场调节器被配置为相对于所述第二磁体移动所述第一永磁体和/或改变所述第一永磁体的磁场的影响。

4.根据权利要求3所述的装置，其中所述第二磁体连接到所述第一支撑件和所述第二支撑件中的一个。

5.根据权利要求3所述的装置，其中所述第二磁体包括电磁体或永磁体。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述设备包括关节机器人和衬底穿梭机中的至少一个。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一支撑件和所述第二支撑件包括至少一个固定导轨。

8.根据权利要求3所述的装置，其中所述第一支撑件包括在其上的热辐射器，其中所述第一磁性轴承是非接触式轴承，并且其中所述装置还包括：

在所述第一支撑件与所述第二支撑件之间的第一功率耦合，其中所述第一功率耦合是非接触式功率耦合；以及

第一热泵，所述第一热泵连接到所述第一支撑件，其中所述第一磁性轴承和所述第一功率耦合中的至少一个包括至少一个有源热生成部件，并且其中所述第一热泵被配置为将来自所述至少一个有源热生成部件的热泵送到所述热辐射器。

9.根据权利要求1所述的装置，还包括在所述第一支撑件和所述第二支撑件之间的非接触式通信耦合。

10.根据权利要求1所述的装置，还包括：

第二设备，被配置为将至少一个衬底支撑在其上；以及

第二运输机，所述第二设备连接到所述第二运输机，其中所述第二运输机被配置为承载所述第二设备，其中所述第二运输机包括：

多个第二支撑件，所述多个第二支撑件沿线性路径相对于彼此可移动；以及

至少一个第二磁性轴承，所述至少一个第二磁性轴承至少部分地将所述第二支撑件耦合，

其中所述第二运输机被配置为在所述第二设备至少部分地在所述第二运输机之上经过的情况下使所述第二设备移动。

11.一种衬底运输装置，包括：

腔室，形成封闭环境；以及

根据权利要求1所述的装置，其中所述第二支撑件固定地处于所述腔室的壁上。