[发明专利]一种制作靶材用多主元合金及其制备方法有效
| 申请号： | 201811372673.4 | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN109355546B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 王志新;马明星;梁存;周家臣;赵量 | 申请（专利权）人： | 中原工学院 |
| 主分类号： | C22C30/02 | 分类号： | C22C30/02;C22C1/04;C23C14/34 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 郑园;王红培 |
| 地址： | 451191 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制作 靶材用多主元 合金 及其 制备 方法 | ||
1.一种制作靶材用多主元合金，其特征在于：该多主元合金的化学式为AlxCoCuMnyNiTiz，其中0.1≤x≤1.2；0.1≤y≤1.2；0.1≤z≤1.2；0.01x/(x+y+z+3)0.30；0.01y/(x+y+z+3) 0.30；0.01z/(x+y+z+3) 0.30；
所述的制作靶材用多主元合金的制备方法，步骤如下：
（1）按AlxCoCuMnyNiTiz化学计量比称取各种纯金属粉末置于球磨罐中，加入不锈钢球，然后在保护气氛环境下将放有纯金属粉末的球磨罐密封起来；
（2）将上述密封好的球磨罐置于行星式球磨机上进行混料；
（3）将上述均匀混料后的粉末在保护气氛环境下装入石墨模具，然后真空热压烧结即得多主元合金。
2.根据权利要求1所述的制作靶材用多主元合金，其特征在于：所述纯金属粉末的纯度均高于99.5%。
3.根据权利要求1所述的制作靶材用多主元合金，其特征在于：所述保护气氛为氩气或氮气。
4. 根据权利要求1所述的制作靶材用多主元合金，其特征在于：所述步骤（1）中不锈钢球的加入量为球料质量比（5 -10）:1。
5.根据权利要求1所述的制作靶材用多主元合金，其特征在于：所述步骤（2）中混料转速为50-250rpm，时间为0.5-6h。
6.根据权利要求1所述的制作靶材用多主元合金，其特征在于：所述步骤（3）中真空热压烧结温度1000-1400℃，时间为0.5-3h，压力为20-35MPa。
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