[发明专利]一种多晶表面有机物不良电池片返工工艺有效
申请号: | 201811376002.5 | 申请日: | 2018-11-19 |
公开(公告)号: | CN109616551B | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 李鑫;陈建生;许成德 | 申请(专利权)人: | 横店集团东磁股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 322118 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 表面 有机物 不良 电池 返工 工艺 | ||
本发明涉及多晶硅太阳能电池制作技术领域,为解决传统不良电池片返工工艺无法有效清除有机物、成品率低的问题,提供了一种多晶表面有机物不良电池片返工工艺,包括以下步骤:(1)将电池片于混合药液中进行两面清洗;(2)第一水洗槽清洗;(3)第二水洗槽清洗;(4)高温氮气干燥;(5)重新制绒、扩散制作PN结、刻蚀、镀膜、丝网、烧结、测试。本发明工艺简单高效,装置设计巧妙,电池片处理效果好,减少电池片表面的复合,有利于电池片效率的提升;整个工艺流程资源利用率高,药液和去离子水用量少,相比原有清洗工艺清洗效率提升0.09~0.12%,电池片A级成品率,大幅降低电池实际生产成本。
技术领域
本发明涉及多晶硅太阳能电池制作技术领域,尤其涉及一种多晶表面有机物不良电池片返工工艺。
背景技术
随着石油、煤炭、天然气等不可再生能源不断减少,能源问题日益突出,未来能源问题将成为制约现代化经济发展的瓶颈,新能源的研发与推广使用得到高度关注。其中,太阳能光伏作为新能源之一,其丰富、洁净等优点被认为是最具发展前景的清洁能源之一。目前,在众多种类的太阳能电池中,晶硅太阳能电池占据主导地位,提高电池的转换效率和提升产品A级成品率是我们研究的热点。
目前产业化的多晶太阳能电池片的制造工艺包括制绒、扩散、刻蚀、PECVD、印刷、烧结、测试。在多晶硅太阳能电池的生产中,由于遇到各种不可控制因数,导致各工序会遇到各种不良外观电池片。例如原硅片表面有油污、手指印等,生产中员工没有按照规定佩戴手套或者手套破裂接触电池片产生手指印、汗渍印等,生产设备故障等导致油污至电池片表面等,和工艺控制参数异常等内在因素而需要返工,返工比例在1%~10%之间,上述不良片的出现,若不做返工处理,它不仅影响多晶太阳能电池片的A级成品率还会影响转换效率。需要对不良片返工处理,重新制作出合格太阳能电池片。
传统的返工方法为采用氢氟酸、去离子水混合药液进行表面处理,由于电池片表面有机物不与氢氟酸反应,从而无法有效去除。并且电池片表面有机物不良片在返工重新进行制作电池时也不能有效去除。从而造成电池片外观上的不合格,和光电转换效率偏低。因此需要设计一种针对电池片表面有有机物不良返工片清洗工艺,提高电池片A级成品率,以及返工电池片光电转换效率,降低电池实际生产成本。
中国专利文献上公开了“一种成品晶硅太阳能电池片的返工工艺”,其公告号为CN102629644 A,该发明将由生产、工艺不稳定所导致的低效电池片和外观不良导致的报废片通过一系列化学腐蚀的手段,非常简便的回收到电池正反面的贵金属电极,同时将这些低效、报废的电池片还原成原始硅片,重新开始常规的电池工艺流程制作成合格电池片。但是该工艺操作复杂,能耗高。
发明内容
本发明为了克服传统不良电池片返工工艺无法有效清除有机物、成品率低、光电转换效率低的问题,提供了一种多晶表面有机物不良电池片返工工艺,提高返工片的A级成品率,减少因电池片表面有有机物而导致成品电池品级不达A等级而降级、光电转换效率低、甚至报废的电池片数量,非常有效的降低生产成本。
为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
一种多晶表面有机物不良电池片返工工艺,其特征在于,包括以下步骤:
(1)将待清洗多晶表面有机物不良电池片置于药液槽内的混合药液中进行两面清洗,所述混合药液由氢氟酸、臭氧水、盐酸和双氧水按照体积比为(5~6):(1~1.5):(1~2):(1~1.5)配制而成;
(2)将经步骤(1)处理过的电池片于第一水洗槽中进行清洗;
(3)将经步骤(2)处理过的电池片于第二水洗槽中进行清洗;
(4)将经步骤(3)处理过的电池片于干燥槽中,进行高温氮气干燥;
(5)将经步骤(4)处理过的电池片进行重新制绒、扩散制作PN结、刻蚀、镀膜、丝网、烧结、测试,完成多晶表面有机物不良电池片重新制作成电池工艺。
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