[发明专利]一种板材平整度测试方法及装置在审
| 申请号： | 201811376558.4 | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN109506598A | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 曹斌;严小超 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 王仲凯 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平整度 测试仪 高度差 金相显微镜 平整度测试 线路板 参考物 模组 测试过程 待测区域 正常监控 参考点 测量点 测量 参考 生产 | ||
本发明公开了一种板材平整度测试方法及装置。本发明以平整度参考物作为参考，通过工具金相显微镜测量各个参考点与各个待测区域的测量点之间的高度差，其中最大的高度差与最小的高度差的差值就是板材的平整度，整个测试过程无需专门使用平整度测试仪，而是采用线路板厂和模组厂常见的工具金相显微镜和平整度参考物，实现方式简单，无需专门购置平整度测试仪，成本低，解决了当前的平整度测试仪价格昂贵，当线路板厂或模组厂等如果没有此设备则无法正常监控生产料或来料的平整度的技术问题。
技术领域
本发明涉及材料测试技术领域，尤其涉及一种板材平整度测试方法及装置。
背景技术
目前线路板厂或模组厂等为了监控生产料或来料的平整度，需要通过专门测试平整度的平整度测试仪进行平整度测试。
但是当前市场上的平整度测试仪价格昂贵，普及程度低，当线路板厂或模组厂等如果没有此设备则无法正常监控生产料或来料的平整度。
因此，导致了当前的平整度测试仪价格昂贵，当线路板厂或模组厂等如果没有此设备则无法正常监控生产料或来料的平整度的技术问题。
发明内容
本发明提供了一种板材平整度测试方法及装置，解决了当前的平整度测试仪价格昂贵，当线路板厂或模组厂等如果没有此设备则无法正常监控生产料或来料的平整度的技术问题。
本发明提供了一种板材平整度测试方法，包括：
S1：将板材放置于工具金相显微镜的检测平台，将平整度参考物放置在板材的第一预置区域，在平整度参考物选取第一预置数量的参考点，在板材的待测区域选取第二预置数量的测量点；
S2：通过工具金相显微镜分别测量各个参考点与各个待测点的高度差；
S3：将测量得到的最大的高度差减去最小的高度差得到板材的平整度。
优选地，步骤S2具体包括：
S21：调节工具金相显微镜的FA转换杆调用用于辅助判断光学点和观测点是否在同一平面的第一矩形图案，其中，当光学点和观测点不在同一平面时，第一矩形图案分离成第二矩形图案和第三矩形图案，当光学点和观测点在同一平面时，第二矩形图案和第三矩形图案合并成完整的第一矩形图案；
S22：调节工具金相显微镜的X/Y轴移动杆将观测点调节至第i个参考点处，调节Z轴调焦手轮直至第二矩形图案和第三矩形图案合并成完整的第一矩形图案，将工具金相显微镜的计时器显示部的Z轴数据归零，i的初始值为1；
S23：调节工具金相显微镜的X/Y轴移动杆将观测点调节至第j个测量点处，调节Z轴调焦手轮直至第二矩形图案和第三矩形图案合并成完整的第一矩形图案，记录计时器显示部的Z轴数据得到第i个参考点和第j个测量点的高度差，j的初始值为1；
S24：判断j是否等于jmax，若是，则执行步骤S25，若否，则j的数值加1，返回步骤S23，其中，jmax为第二预置数量；
S25：判断i是否等于imax，若是，则执行步骤S3，若否，则i的数值加1，返回步骤S22，其中，imax为第一预置数量。
优选地，步骤S1之前还包括：步骤S0；
S0：对工具金相显微镜进行初始化操作。
优选地，平整度参考物具体为光学sensor。
优选地，板材具体为线路板。
本发明提供了一种板材平整度测试装置，包括：
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