[发明专利]一种柔性可转移电子器件的制备方法在审
申请号: | 201811378481.4 | 申请日: | 2018-11-19 |
公开(公告)号: | CN109285946A | 公开(公告)日: | 2019-01-29 |
发明(设计)人: | 刘钢;卢颖;李润伟;高双;伊晓辉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人: | 单英 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性电子器件 电子器件 可转移 牺牲层 衬底 制备 非平整表面 可溶性物质 溶剂溶解 直接制作 超薄化 应用性 平整 环保 损害 | ||
1.一种柔性可转移电子器件的制备方法,其特征是:包括如下步骤:
(1)采用可溶性物质,在该物质表面制作柔性电子器件;
(2)利用溶剂溶解该可溶性物质,得到柔性电子器件;
(3)将该柔性电子器件转移到柔性衬底上,使该柔性电子器件连接在柔性衬底二者相结合。
2.如权利要求1所述的柔性可转移电子器件的制备方法,其特征是:所述的步骤(3)中,首先对柔性电子器件表面进行处理,然后将该柔性电子器件转移到所需的柔性衬底上相结合。
3.如权利要求2所述的柔性可转移电子器件的制备方法,其特征是:所述表面处理方法包括等离子体处理、臭氧表面辐射、表面活性剂处理和接枝共聚处理中的一种或几种。
4.如权利要求1所述的柔性可转移电子器件的制备方法,其特征是:所述可溶性物质包括氯化钠、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷中的一种或几种。
5.如权利要求1所述的柔性可转移电子器件的制备方法,其特征是:所述柔性衬底材料包括环氧树脂类、聚二甲基硅氧烷、聚氨酯类、聚氨基甲酸酯、聚丙烯酸酯类、Ecoflex、环化橡胶树脂、聚酯树脂中的一种或者几种。
6.如权利要求1所述的柔性可转移电子器件的制备方法,其特征是:所述柔性电子器件包括柔性存储器、柔性电极、柔性导线。
7.如权利要求1至6中任一权利要求所述的柔性可转移电子器件的制备方法,其特征是:所述步骤(1)中,在可溶性物质表面首先制备柔性支撑层,然后在支撑层表面制备所述柔性电子器件,当所述可溶性物质被溶剂溶解后,得到柔性支撑层支撑的柔性电子器件,将该柔性电子器件转移到所需的柔性衬底上,即柔性支撑层位于柔性衬底表面,在外力作用下二者相结合。
8.如权利要求7所述的柔性可转移电子器件的制备方法,其特征是:利用柔性支撑层的粘附性使柔性支撑层与柔性衬底相结合。
9.如权利要求7所述的柔性可转移电子器件的制备方法,其特征是:所述柔性支撑层材料包括塑料、聚酰亚胺、聚甲基丙烯酸甲酯、聚二甲基硅氧烷、聚丙烯腈、聚醚砜、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯类、聚氨酯、丝织物材料或生物复合材料中的一种或者几种。
10.如权利要求7所述的柔性可转移电子器件的制备方法,其特征是:所述柔性支撑层的制备方法包括涂敷、旋涂在可溶性物质上然后固化。
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