[发明专利]电子调制装置

权利要求书

1.一种电子调制装置，其特征在于，包括：

一第一基板，所述第一基板包括一第一部分以及一第二部分；

一第二基板，与所述第一基板相对设置；

至少一工作单元，具有一第一单元间隙且设置于所述第一基板及所述第二基板之间，其中所述至少一工作单元包括一调制材料；以及

至少一调整结构，包括一支撑元件，所述支撑元件设置于所述第一基板与所述第二基板之间，且所述调整结构具有一第二单元间隙，所述第二单元间隙大于所述第一单元间隙；

其中所述第一基板的所述第一部分与所述至少一工作单元重叠，所述第一基板的所述第二部分与所述至少一调整结构重叠，

其中所述第一基板的所述第一部分的一顶表面与所述第一基板的所述第二部分的一顶表面具有一夹角。

2.如权利要求1所述的电子调制装置，其特征在于，所述第二单元间隙与所述第一单元间隙的比例的范围为1至100。

3.如权利要求1所述的电子调制装置，其特征在于，所述第一基板的所述第一部分的厚度大于或等于所述第一基板的第二部分的厚度。

4.如权利要求3所述的电子调制装置，其特征在于，所述第一部分的厚度与第二部分的厚度的比例的范围为1至10。

5.如权利要求1所述的电子调制装置，其特征在于，所述至少一工作单元更包含一第一层，配置于所述第一基板与所述第二基板之间，该第一层包括一第一部分及一第二部分，所述第一部分与所述至少一工作单元重叠，所述第二部分与所述至少一调整结构重叠，所述第一层的所述第一部分的厚度大于或等于所述层的所述第二部分的厚度。

6.如权利要求1所述的电子调制装置，其特征在于，所述支撑元件的高度与所述第二单元间隙的高度的比例的范围为0.9至1.1。

7.如权利要求6所述的电子调制装置，其特征在于，所述支撑元件包括一第一支撑单元及一第二支撑单元，所述第二支撑单元配置于所述第一支撑单元上，其中所述第一支撑单元的材料不同于所述第二支撑单元的材料。

8.如权利要求1所述的电子调制装置，其特征在于，包括一工作区及一非工作区，其中所述至少一工作单元位于所述工作区中。

9.如权利要求8所述的电子调制装置，其特征在于，所述至少一调整结构位于所述工作区中。

10.如权利要求8所述的电子调制装置，其特征在于，所述至少一调整结构位于所述非工作区中。