[发明专利]传感器装置有效
申请号: | 201811382421.X | 申请日: | 2018-11-20 |
公开(公告)号: | CN109813345B | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | 若林悠仁 | 申请(专利权)人: | 艾普凌科有限公司 |
主分类号: | G01D5/24 | 分类号: | G01D5/24;G01D3/028;G01B7/06 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 王岳;闫小龙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器 装置 | ||
本发明涉及传感器装置。传感器装置具有与外部电极相向并且产生与静电电容的变化对应的电压的检测电极、运算放大器、在运算放大器的输出端子与反相输入端子之间连接的第二电容器、以及与第二电容器串联连接的第一电容器,检测在检测电极产生的电压。具备:输出基于第一电容器与第二电容器的电容比对在该检测电极产生的电压进行放大后的检测信号的电容型放大电路、将检测电极的电压重置为基准电位的重置开关、对使电容型放大电路作为电容型放大器发挥作用或者作为电压跟随器发挥作用进行切换的切换开关、将第一电容器与电容型放大电路切断的第二切换开关、以及将第一电容器的电压重置为基准电位的第二重置开关。
技术领域
本发明涉及传感器装置。
背景技术
近年来,已知具备传感器的传感器装置(例如,参照专利文献1)。在这样的传感器装置中,例如利用源极跟随器检测光电元件所生成的电压。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开平9-205588号公报。
发明要解决的课题
然而,在代替光电元件而具备例如与被施加电压的外部电极相向并且通过静电电容的变化来产生电压的检测电极的传感器装置中,在检测电极产生的电压微小,因此,在源极跟随器的后级对检测电压进行放大来进行了使用。因此,在这样的以往的传感器装置中,也放大检测电压以及噪声分量,存在检测精度降低的可能性。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而完成的,其目的在于提供能够减少由噪声造成的影响来提高检测精度的传感器装置。
用于解决课题的方案
为了解决上述问题,本发明的一个方式是,一种传感器装置,其中,具备:检测电极,与被施加规定的电压的外部电极相向,产生与静电电容的变化对应的电压;电容型放大电路,具有运算放大器、在所述运算放大器的输出端子与反相输入端子之间连接的第二电容器、和与所述第二电容器串联连接的第一电容器,对在所述检测电极产生的电压进行检测,输出基于所述第一电容器与所述第二电容器的电容比对在该检测电极产生的电压进行放大后的检测信号;重置开关,将所述检测电极的电压重置为基准电位;切换开关,通过是否使所述输出端子与所述反相输入端子间短路来切换使所述电容型放大电路作为电容型放大器发挥作用或者作为电压跟随器发挥作用;第二切换开关,在所述电容型放大电路作为电压跟随器发挥作用的情况下,将所述第一电容器与所述电容型放大电路切断;以及第二重置开关,在所述第一电容器被与所述电容型放大电路切断的情况下,将所述第一电容器的电压重置为基准电位。
发明效果
根据本发明,能够减少由噪声造成的影响来提高检测精度。
附图说明
图1是示出根据第一实施方式的传感器装置的一个例子的框图。
图2是示出根据第一实施方式的传感器装置的工作的一个例子的时间图。
图3是示出根据第二实施方式的传感器装置的一个例子的框图。
具体实施方式
以下,参照附图来对根据本发明的一个实施方式的传感器装置进行说明。
[第一实施方式]
图1是示出根据本实施方式的传感器装置1a的一个例子的框图。
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