[发明专利]驱动器和光扫描装置

说明书

本发明提供一种驱动器和光扫描装置。在成为驱动器的MEMS结构体中，不管有无位移取得用的传感器均能够检测梁的折损。本发明的驱动器具有：驱动对象物；支撑上述驱动对象物的驱动梁；支撑上述驱动梁的固定框；驱动上述驱动梁，使上述驱动对象物绕预定的轴摆动的驱动源；以及在上述驱动梁上蔓延地形成，且在上述固定框之上具有端子的故障探测用配线图案。

技术领域

本发明涉及驱动器和光扫描装置。

背景技术

一直以来，已知有一种光扫描装置，使用在压电体的上表面形成有上部电极且在下表面形成有下部电极的驱动器，使反射入射光的反射镜部绕旋转轴旋转，扫描反射光。该驱动器中，为了对压电体施加电压，形成有连接于上部电极的上部配线和连接于下部电极的下部配线(例如参照专利文献1)。

专利文献2所记载的构成光扫描装置的驱动器具备具有多个梁的波纹构造。在最外侧的梁设置有位移取得用的传感器，利用传感器的信号能够检测最外侧的梁的位移，由此，检测利用波纹管构造的驱动器是否得到了预定的振动。

专利文献2所记载的结构中，能够在最外侧的梁不动的情况下检测到异常。但是，在比最外侧的梁靠内侧的梁折损，且最外侧的梁如通常那样移动的情况下，不能根据传感器输出检测异常。另外，在比最外侧的梁靠内侧的梁也配置有传感器，该情况下，虽然能够检测异常，但配线的数与传感器的数相应地增加，需要相应地增大梁的宽度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-1325号公报

专利文献2：日本特开2017-68205号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在成为驱动器的MEMS结构体中，要求不管有无位移取得用的传感器，均能够检测梁的折损。

本发明是鉴于上述的点而做成的，其目的在于，在成为驱动器的MEMS结构体中，不管有无位移取得用的传感器，均能够检测梁的折损。

用于解决课题的方案

本发明的一方案的驱动器具有：驱动对象物(120)；支撑上述驱动对象物的驱动梁(170A、170B)；支撑上述驱动梁的固定框(180)；驱动上述驱动梁使上述驱动对象物绕预定的轴摆动的驱动源(171A、171B)；以及在上述驱动梁上蔓延地形成，且在上述固定框之上具有端子(11、12)的故障探测用配线图案(10)。

此外，上述括弧内的参照符号是为了容易理解而标注的符号，只是一例，不限定于图示的方案。

发明效果

根据公开的技术，在成为驱动器的MEMS结构体中，不管有无位移取得用的传感器，均能够检测梁的折损。

附图说明

图1是表示第一实施方式的光扫描装置的光扫描部的一例的上表面侧的平面图。

图2是表示第一实施方式的光扫描装置的光扫描部的一例的电路图。

图3是表示第二实施方式的光扫描装置的光扫描部的一例的上表面侧的平面图。

图4是表示第二实施方式的光扫描装置的光扫描部的另一例的上表面侧的平面图。

图5是表示第二实施方式的光扫描装置的光扫描部的再另一例的上表面侧的平面图。

图6是表示第二实施方式的光扫描装置的光扫描部的一例的电路图。

图7是表示第三实施方式的光扫描装置的光扫描部的一例的上表面侧的平面图。

图8是表示第四实施方式的光扫描装置的光扫描部的一例的上表面侧的平面图。