[发明专利]光纤二维振动传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201811383452.7 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN109374112B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 吴胜楠;何赛灵;谭沁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光纤 二维 振动 传感器 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种光纤二维振动传感器，其特征在于，包括单模光纤，所述单模光纤的端部为光纤悬臂梁，光纤悬臂梁上套有光纤毛细管，光纤毛细管的一端与单模光纤固定连接，光纤毛细管的另一端封堵有薄膜，所述光纤悬臂梁、光纤毛细管以及薄膜之间形成法布里-珀罗干涉腔。
2.根据权利要求1所述的一种光纤二维振动传感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）将单模光纤的端部加工出光纤悬臂梁；
（2）将光纤悬臂梁内嵌入光纤毛细管中并固定连接；
（3）将光纤毛细管外端镀薄膜，形成法布里-珀罗干涉腔。
3.根据权利要求2所述的一种光纤二维振动传感器的制作方法，其特征在于，采用化学腐蚀法或拉锥工艺将单模光纤的端部加工出光纤悬臂梁。
4.根据权利要求2所述的一种光纤二维振动传感器的制作方法，其特征在于，采用环氧树脂固定或利用熔接机进行放电熔接的方式将光纤悬臂梁与光纤毛细管固定连接。
5.根据权利要求2所述的一种光纤二维振动传感器的制作方法，其特征在于，所述薄膜采用弹性材料。
6.根据权利要求5所述的一种光纤二维振动传感器的制作方法，其特征在于，所述弹性材料为聚二甲基硅氧烷、聚对苯二甲酸乙二醇酯或石墨烯。
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