[发明专利]曼尼希碱型酸化缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种曼尼希碱型酸化缓蚀剂，其特征在于，所述缓蚀剂包括以下质量百分比的组分：20％～30％的曼尼希缓蚀主剂、30％～40％的有机溶剂、5％～10％的表面活性剂、0.1～5％的增效剂、以及余量的水；

所述曼尼希缓蚀主剂的化学结构式为：

其中，R的化学结构式为

所述表面活性剂为烷基酚聚氧乙烯醚和/或脂肪醇聚氧乙烯醚；

所述增效剂为丙炔醇、丙炔醇丙氧基化合物、丙炔醇乙氧基化合物和甲酰胺中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的曼尼希碱型酸化缓蚀剂，其特征在于，所述有机溶剂选自甲醇、乙二醇和异丙醇中的至少一种。

3.一种曼尼希碱型酸化缓蚀剂的制备方法，所述方法用于制备权利要求1～2任一项所述的曼尼希碱型酸化缓蚀剂，其特征在于，所述方法包括：

提供三聚氰胺的乙二醇溶液，包括：将三聚氰胺加入乙二醇中，加热至50℃～60℃，搅拌溶解，获得三聚氰胺的乙二醇溶液；

将环己酮和苯乙酮中的一种、以及甲醛加入所述三聚氰胺的乙二醇溶液中，加热至90℃～100℃，搅拌反应4～6小时后回流，静置冷却至18℃～23℃，获得曼尼希缓蚀主剂；

按照各组分的质量百分比，向有机溶剂中依次加入所述曼尼希缓蚀主剂、表面活性剂、增效剂与水，混合均匀，得到所述曼尼希碱型酸化缓蚀剂。

4.根据权利要求3所述的曼尼希碱型酸化缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述三聚氰胺与所述乙二醇的质量比为1:1～4；所述环己酮和所述苯乙酮中的一种与所述甲醛、所述三聚氰胺的质量比为1:1～2:0.4～1。

5.根据权利要求3所述的曼尼希碱型酸化缓蚀剂的制备方法，其特征在于，在向所述三聚氰胺的乙二醇溶液中加入所述环己酮或苯乙酮、甲醛之前，通过氢氧化钠溶液调节所述三聚氰胺的乙二醇溶液pH 值为8～9。