[发明专利]末端集成微气泡的微纳光纤光栅二维振动传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201811384172.8 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN109374113B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 吴胜楠;何赛灵;胡思琪 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 末端 集成 气泡 光纤 光栅 二维 振动 传感器 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种末端集成微气泡的微纳光纤光栅二维振动传感器，其特征在于，包括第一单模光纤，所述第一单模光纤的尾端具有光纤悬臂梁结构，所述光纤悬臂梁结构由依次相连的光纤布拉格光栅、第二单模光纤、光纤毛细管和第三单模光纤组成，所述光纤毛细管和第三单模光纤形成法布里-珀罗干涉腔。
2.根据权利要求1所述的末端集成微气泡的微纳光纤光栅二维振动传感器，其特征在于，所述第三单模光纤的长度小于光纤毛细管的壁厚。
3.根据权利要求1所述的一种末端集成微气泡的微纳光纤光栅二维振动传感器的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
（1）在单模光纤上刻写出光纤布拉格光栅，并在光纤布拉格光栅右端进行切割，此时，光纤布拉格光栅的左端为第一单模光纤，光纤布拉格光栅的右端为第二单模光纤；
（2）在第二单模光纤右端依次熔接光纤毛细管和第三单模光纤，然后将光纤毛细管和第三单模光纤结构进行化学腐蚀，得到法布里-珀罗干涉腔。
4.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，利用准分子激光器和相位掩模板法刻写出光纤布拉格光栅。
5.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述第三单模光纤的长度小于光纤毛细管的壁厚。
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