[发明专利]一种硅片生产用外径滚磨机构在审

专利信息
申请号: 201811386085.6 申请日: 2018-11-20
公开(公告)号: CN109514420A 公开(公告)日: 2019-03-26
发明(设计)人: 赵续凯 申请(专利权)人: 西安科技成果转化工程有限公司
主分类号: B24B37/02 分类号: B24B37/02;B24B45/00;B24B47/12
代理公司: 西安科果果知识产权代理事务所(普通合伙) 61233 代理人: 李倩
地址: 710075 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 滚磨 晶棒 转动机构 底板 研磨 前侧板 固定机构 生产效率 进料筒 上端 硅片 圆孔 进料筒外侧壁 拆卸方便 机械安装 内部安装 轴承安装 波纹状 固定孔 后端面 拆卸 转动 生产
【权利要求书】:

1.一种硅片生产用外径滚磨机构,包括底板(1)、转动机构(2)和固定机构(3),其特征在于:所述底板(1)的上端面上安装有转动机构(2),转动机构(2)的内部安装有固定机构(3);其中:

所述的转动机构(2)包括前侧板(21),底板(1)上端面的前端安装有前侧板(21),前侧板(21)的中部设有圆孔,圆孔内通过轴承安装有进料筒(22),进料筒(22)侧壁的中部安装有转动支链(23),进料筒(22)的后端面沿其周向方向均匀设有固定孔,固定孔为T字形,固定孔的内部连接有固定机构(3),固定机构(3)的后端安装有连接筒(24),连接筒(24)与进料筒(22)的后端面均设有固定孔,底板(1)上端面的左右侧边左右对称设有滑槽,滑槽内通过滑动配合的方式连接有电动滑块(25),电动滑块(25)的上端面安装有后侧板(26),后侧板(26)的中部设有通孔,通孔内安装有轴承;

所述的固定机构(3)在连接筒(24)的前端面沿其周向方向均匀设有,且固定机构(3)与固定孔一一对应,固定机构(3)包括固定块(31),固定块(31)上端面的中部设有圆槽,固定块(31)的内部设有凹槽,凹槽内安装有拆卸支链(32),固定块(31)前端面的中部安装有固定支链(33);

所述的固定支链(33)包括连接板(331),固定块(31)前端面的中部安装有连接板(331),连接板(331)的中部设有线槽,连接板(331)上下端面的前端上下对称设有限位槽,限位槽的内壁上设有条形槽,条形槽内通过滑动配合的方式连接有滑条(332),滑条(332)的后端安装有限位板(333),限位板(333)为无下端面的中空结构,限位板(333)上内侧面与限位弹簧(334)的上端相连接,限位弹簧(334)的下端与限位槽的下端面相连接,连接板(331)前端的中部安装有支撑杆(335),支撑杆(335)侧壁的中部通过轴承安装有滑轮(336),限位板(333)上内侧面的中部连接有长线(337),长线(337)穿过限位弹簧(334)的中部并在滑轮(336)上缠绕一圈后进入线槽。

2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用外径滚磨机构,其特征在于:所述的转动支链(23)包括转动齿(231),进料筒(22)侧壁的中部沿其周向方向均匀设有转动齿(231),转动齿(231)的左端啮合有主动齿轮(232),主动齿轮(232)的前端面与转动轴(233)的后端面相连接,转动轴(233)侧壁的中部通过轴承安装有支撑架(234),支撑架(234)的下端安装在底板(1)的上端面,转动轴(233)的前端面通过联轴器与转动电机(235)的输出轴相连接,转动电机(235)通过电机架(236)安装在底板(1)的上端面。

3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用外径滚磨机构,其特征在于:所述的拆卸支链(32)包括线轴(321),凹槽的中部通过轴承安装有线轴(321),线轴(321)为中空结构,长线(337)的另一端经过线槽缠绕在线轴(321)上,线轴(321)的下端面设有齿轮槽,齿轮槽的上端安装有第一磁石(322),齿轮槽的下端安装有内齿轮(323),凹槽的下端安装有第二磁石(324),线轴(321)的中部设有长杆(325),长杆(325)的下端从上到下依次安装有第三磁石(326)、外齿轮(327)和第四磁石(328),第四磁石(328)的直径小于外齿轮(327)的直径,长杆(325)的上端安装有转盘(329)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用外径滚磨机构,其特征在于:所述的进料筒(22)与连接筒(24)内部的直径从前往后依次减小,且前一连接筒(24)内部后端面的直径等于后一连接筒(24)内部前端面的直径。

5.根据权利要求1所述的一种硅片生产用外径滚磨机构,其特征在于:所述轴承的内径与连接筒(24)的外径相等。

6.根据权利要求1所述的一种硅片生产用外径滚磨机构,其特征在于:所述进料筒(22)与连接筒(24)的内侧壁上均匀设有金刚石颗粒(27)。

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