[发明专利]基板载具、溅镀装置及溅镀方法

说明书

本发明提供一种基板载具、溅镀装置及溅镀方法。本发明的基板载具包括框状的本体，本体的内侧面设有多个通槽，每一通槽的两端分别连接本体的第一端面及第二端面，每一通槽包括沿第一端面及第二端面排列方向依次设置的第一区及第二区，每一通槽在第一区的槽深大于在第二区的槽深，溅镀时，基板覆盖本体的内侧面围成的开口且与多个通槽交叠，基板的边缘与本体的内侧面间的距离为一预设距离，该预设距离大于通槽在第二区的槽深且小于通槽在第一区的槽深，能够降低基板与基板载具之间的重叠区域的面积，扩大溅镀制程中基板的有效成膜面积。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板载具、溅镀装置及溅镀方法。

背景技术

液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。

液晶显示器包括液晶显示面板及背光模组(backlight module)。液晶显示面板的结构是由一彩色滤光片基板(Color Filter Substrate，CF Substrate)、一薄膜晶体管阵列基板(Thin Film Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)以及一配置于两基板间的液晶层(Liquid Crystal Layer)所构成，其中在阵列基板上有许多竖直和水平的细小电线。液晶显示面板的工作原理是通过在两片玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶层的液晶分子的旋转，将背光模组的光线折射出来产生画面。

在TFT-LCD产品中，像素电极以及公共电极等膜层的材料一般为氧化铟锡(ITO)，而ITO层的镀膜需使用基板载具，使玻璃基板固定在基板载具上，完成ITO层的溅镀。

请参阅图1，现有的基板载具100呈矩形框架状，具有一开口110，请参阅图2，玻璃基板300固定于基板载具100上进行ITO溅镀时，玻璃基板300覆盖所述开口110，其四周边缘与基板载具100形成矩形框状的重叠区310，玻璃基板300与基板载具100间形成的重叠区310的内侧边缘与外侧边缘之间的距离越大，玻璃基板300上的电阻保证区边缘与玻璃基板300边缘之间的距离越大，现有技术中，玻璃基板300与基板载具100间形成的重叠区310的内侧边缘与外侧边缘之间的距离一般为8mm，相应地，玻璃基板300上的电阻保证区的边缘与玻璃基板300边缘之间的距离为15mm。然而，对于采用在彩膜基板上进行镭射图案(Laserpattern on CF，LOC)技术的产品，需要保证在玻璃基板上溅镀ITO时，电阻保证区边缘与玻璃基板边缘的尺寸下降至9mm，现有的基板载具的结构无法满足这一需求，同时由于机台设备、产品性能与溅镀制程的复杂性，不能只是简单地减少玻璃基板与基板载具之间形成的重叠区的尺寸来满足扩大ITO溅镀制程中剥离基板上有效成膜面积的要求。

因此，需要对基板载具做进一步的设计改进。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板载具，能够降低基板与基板载具之间的重叠区域的面积，扩大溅镀制程中基板的有效成膜面积。

本发明的另一目的在于提供一种溅镀装置，能够降低基板与基板载具之间的重叠区域的面积，扩大溅镀制程中基板的有效成膜面积。

本发明的又一目的在于提供一种溅镀方法，能够降低基板与基板载具之间的重叠区域的面积，扩大溅镀制程中基板的有效成膜面积。

为实现上述目的，本发明提供了一种基板载具，包括框状的本体；所述本体的内侧面设有多个通槽，每一通槽的两端分别连接本体的第一端面及第二端面；

每一通槽包括沿第一端面及第二端面排列方向依次设置的第一区及第二区；每一通槽在第一区的槽深大于在第二区的槽深。

所述本体为矩形框，所述本体的内侧面包括依次连接的第一面、第二面、第三面、及第四面。