[发明专利]一种自动检测气动量仪线性误差的装置及方法

权利要求书

1.一种自动检测气动量仪线性误差的装置，其特征在于：包括机架、电脑、微动滑台、步进电机、微动台架及双孔转动支臂；所述的微动滑台水平安装在机架上，所述的步进电机置于微动滑台上，步进电机输出轴通过膜片联轴器与微动台架连接；微动台架上安装有双孔转动支臂，双孔转动支臂上安装有P12D传感器和喷嘴；P12D传感器及步进电机与电脑连接，喷嘴用于与气动量仪连接。

2.根据权利要求1所述的自动检测气动量仪线性误差的装置，其特征在于：所述的机架包括电脑安装箱、旋转支架及柜体，电脑安装箱通过旋转支架安装在柜体上，位于柜体上方；所述的柜体顶部设有测量底板，柜体内腔分为键盘抽屉、电气控制柜和打印机柜，键盘抽屉位于打印机柜和电气控制柜上方，打印机柜位于电气控制柜前方，打印机柜内设有打印机，打印机与电脑连接；柜体侧面设有按钮盒放置架；所述的电脑的触摸显示器置于电脑安装箱内，键盘置于键盘抽屉内；所述的微动滑台安装在测量底板上。

3.根据权利要求2所述的自动检测气动量仪线性误差的装置，其特征在于：所述的测量底板后部设有防护罩，所述的步进电机及微动滑台置于防护罩内；防护罩上安装有控制电脑和步进电机的开关、连接电脑与气动量仪的串口插座、实现气动量仪供气的通断的球阀及按钮插座，按钮插座连接按钮盒。

4.根据权利要求2或3所述的自动检测气动量仪线性误差的装置，其特征在于：所述的电脑安装箱由铝型材制成，电脑安装箱上设有三色报警灯，三色报警灯与电脑连接。

5.根据权利要求3所述的自动检测气动量仪线性误差的装置，其特征在于：所述的电气控制柜后板上设有空气过滤器，空气过滤器的出口与球阀连接。

6.一种基于权利要求1-5中任一项所述的自动检测气动量仪线性误差的装置的自动检测气动量仪线性误差的方法，包括以下步骤：

步骤S1：对微动台架进行调整，确定微动台架的运动范围；确定微动台架的初始间隙、移动距离、采集间隔和移动速度参数；

步骤S2：由电脑控制步进电机带动微动台架以设定好的速度、间隔以及移动距离进行运动；

步骤S3：微动台架每移动到一个采集点，P12D传感器检测本采集点和上一个采集点之间的垂直距离，在校准时利用量块对P12D传感器各受检点逐点校准、逐点修正，计算出修正值β_i，计算方法为β_i＝L_i-l_i，其中L_i为两个采集点之间理论垂直距离，l_i为两采集点由P12D传感器检测出的垂直距离，在测量时同时对P12D传感器和气动量仪测量值进行采样，直到移动结束；

步骤S4：由电脑处理测量时P12D传感器采样值和气动量仪数值，进行分析、评定，得出气动量仪线性误差，分析方法为：各采集点线性误差Δi＝气动量仪测量值mi-传感器采集值ni-该点修正值βi，即Δi＝mi-ni-βi，然后找出Δi中的最大值Δmax与最小值Δmin，判断Δmax和Δmin是否在最大允许误差Δ范围之内。

步骤S5：对得出的线性误差进行保存和判定，删除误操作数据，双色灯报警，同时生成线性检测报告，检测报告由打印机输出。

7.根据权利要求6所述的自动检测气动量仪线性误差的方法，其特征在于，所述步骤S1中的各参数值根据不同量程设置相应的数值，设置方法为：量程分为±5μm、±10μm、±25μm和±50μm，在量程设置里设置对应量程的初始间隙、倍率、测量间隔和最大允许误差，并将要检测的气动量仪倍率调节好。

8.根据权利要求6所述的自动检测气动量仪线性误差的方法，其特征在于，所述步骤S2包括：

2-1)由电脑来控制电机的运动，从而带动微动台架运动；

2-2)微动台架移动过程中使传感器位移发生变化，同时气动量仪测量值也发生变化。