[发明专利]晶硅铸锭加热器及其使用方法在审
| 申请号： | 201811389892.3 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109402734A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王双丽;张华利;胡动力 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热器 侧部加热器 顶部加热器 串联单元 独立连接 晶硅铸锭 上加热器 铸锭 串联 电源 发热功率 辐射热量 灵活控制 硅料 种晶 耗时 优化 | ||
1.一种晶硅铸锭加热器，其特征在于，包括
顶部加热器；
侧部加热器，包括侧部上加热器及侧部下加热器，其中所述侧部上加热器和顶部加热器串联形成串联单元，所述串联单元和侧部下加热器分别独立连接电源。
2.根据权利要求1所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述串联单元连接至三相交流电源,所述侧部下加热器连接至不同的三相交流电源。
3.根据权利要求1所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述顶部加热器包括处于同一平面的并排设置的2个蛇型加热器，每个蛇形加热器的两侧分别设置有2个S型加热器，所述侧部上加热器沿圆周方向均布有4处，每个侧部上加热器包括2个并排设置的U型加热器，所述顶部加热器和所述4处的侧部上加热器形成两个串联子单元，其中每个串联子单元由1个蛇形加热器及其两侧的2个S型加热器将4个依次排列的U型加热器串联形成，所述串联子单元中的2个S型加热器上分别连接有石墨电极。
4.根据权利要求3所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述串联子单元中，沿所述圆周方向，相邻的所述U型加热器通过S型加热器或蛇型加热器依次串联，其中所述蛇型加热器的两端分别通过一个转接板连接至U型加热器，S型加热器的两端分别通过一个转接板连接至U型加热器。
5.根据权利要求4所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述S型加热器所连接的转接板的宽度与S型加热器的宽度差小于10毫米。
6.根据权利要求1所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述侧部上加热器的内表面和所述侧部下加热器的内表面处于同一平面上。
7.根据权利要求1所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述侧部上加热器与所述侧部下加热器之间的距离为10毫米～60毫米。
8.根据权利要求1所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述侧部下加热器的电阻不大于侧部上加热器和顶部加热器串联的电阻之和；所述侧部上加热器的电阻小于侧部上加热器和顶部加热器串联的电阻之和的1/2。
9.一种如权利要求1所述的晶硅铸锭加热器的使用方法，其特征在于，
在长晶第一阶段，使所述侧部下加热器的发热功率大于所述侧部上加热器的发热功率；
在长晶第二阶段，逐渐降低所述侧部下加热器的发热功率或关闭所述侧部下加热器。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，在长晶第一阶段，所述侧部下加热器与所述侧部上加热器的发热功率比值不小于4.5:2；在长晶第二阶段，所述侧部下加热器的发热功率与所述侧部上加热器的发热功率的比值不大于1:2。
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