[发明专利]一种晶体称重装置

权利要求书

1.一种晶体称重装置，其特征在于：包括密封的真空腔体、磁流体密封件、水冷式籽晶转轴、籽晶转轴水冷套、波纹管、称重传感器、提拉装置、冷却螺旋盘管；

其中，所述磁流体密封件、籽晶转轴水冷套、称重传感器、提拉装置均位于真空腔体内部；水冷式籽晶转轴的上端与提拉装置连接而下端延伸出真空腔体；波纹管位于真空腔体外部并包围水冷式籽晶转轴延伸出真空腔体的部分；

所述冷却螺旋盘管包括安装在真空腔体侧壁上的进液管、同样安装在真空腔体侧壁上的出液管以及位于真空腔体内并围绕籽晶转轴水冷套设置的螺旋盘管，所述螺旋盘管包括流入管与流出管，该流入管的一端与进液管连通而另一端与籽晶转轴水冷套连通，流出管的一端与出液管连通而另一端与籽晶转轴水冷套连通；所述进液管、流入管、籽晶转轴水冷套、流出管、出液管形成回路。

2.根据权利要求1所述的晶体称重装置，其特征在于：所述真空腔体包括上真空腔体、下真空腔体、连接法兰；所述连接法兰将上真空腔体及下真空腔体连接并密封；所述连接法兰中设有供水冷式籽晶转轴穿过的开口。

3.根据权利要求2所述晶体称重装置，其特征在于：还包括传感器下安装座、传感器上安装座、传感器保护座；称重传感器的顶部固定于传感器保护座、称重传感器的底部固定于传感器下安装座，传感器保护座再固定于传感器上安装座，另外称重传感器带有传感器调节件。

4.根据权利要求3所述晶体称重装置，其特征在于：水冷式籽晶转轴通过上磁流体密封件、安装座浮动铰链组件浮动安装于传感器上安装座。

5.根据权利要求3或4所述晶体称重装置，其特征在于：传感器上安装座与传感器下安装座通过传感器安装座铰链组件、自调节浮动组件构成转动副。

6.根据权利要求1或2或3所述晶体称重装置，其特征在于：提拉装置包括、籽晶转轴驱动电机、减速机、减速机联轴器；减速机联轴器与水冷式籽晶转轴上端通过柔性联轴器与连接；籽晶转轴驱动电机、减速机位于真空腔体外部上方，减速机联轴器连接的转轴下端贯穿真空腔体并向真空腔体内延伸，该贯穿位置设置外磁流体密封件。

7.根据权利要求6所述晶体称重装置，其特征在于：还设有包围并承载所述下真空腔体的称重安装座，称重安装座的外侧连接有连接机架。