[发明专利]可充/抽气式XPS冷冻-准原位样品转移装置

说明书

本发明公开了一种可充/抽气式XPS冷冻‑准原位样品转移装置，包括样品台、样品罩和通气装置，所述样品台包括盘体，所述盘体上设有用于承载待测样品的样品槽，所述盘体为导热材料制成；所述样品罩上设有凹腔、与所述凹腔上方分别连通的第一气孔和第二气孔，所述第二气孔可被打开或关闭，所述样品罩密封连接在所述盘体的上方，且使所述凹腔下方与所述样品槽连通，形成一个密封空间；所述通气装置设有通气道，所述通气道在充气或抽气状态与所述第一气孔连通。根据本发明实施例的可充/抽气式XPS冷冻‑准原位样品转移装置，可实现对因环境敏感及易挥发的不稳定物质进行XPS检测，并且能够得到可靠精准的测试结果。

技术领域

本发明涉及XPS样品测试技术领域，具体地涉及一种可充/抽气式XPS冷冻-准原位样品转移装置。

背景技术

X射线光电子能谱分析(X-ray photoelectron spectroscopy,简称XPS)主要用于固体材料表面元素化学结构表征。利用一定能量的X射线照射样品，通过测量样品表面约10个纳米深度范围内原子内层轨道上被激发出的光电子的动能或结合能(本征能量)，可以确定样品表面的元素组成、表面元素的化学态和相对含量以及价层电子能级结构的信息。在进行XPS检测时，待测样品需要从样品制备环境中转移到XPS测试仪器的超高真空环境中进行检测。

鉴于XPS检测过程需要保证超高真空环境，通常要求待测样品充分干燥，不易挥发也不含挥发性的溶剂，不易潮解也不含结晶水等。对于有一定挥发性或在真空中不稳定的特殊样品，如有机小分子材料、金属有机配合物材料、生物材料或凝胶类材料甚至液态样品等，一般很难进行XPS检测。如果对上述特殊的非稳定样品采用与常规样品相同的转移进样方式，既得不到可靠的检测数据又会对仪器造成一定的损害。

目前，对新材料的研制开发是材料科学领域研究的热点，研究对象涉及材料科学、生命科学、纳米科学、催化领域以及胶体领域等，在这些领域的研究中，通常会涉及到许多的固体物质，并且还会涉及到一些特殊的非稳定物质，因此需要通过XPS检测非稳定物质的元素组成、价态以及结构等重要信息，从而为研究材料的构效关系、可控设计，细胞与探针分子的作用机理和生物体系的功能开发等提供重要依据。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种可充/抽气式XPS冷冻-准原位样品转移装置，可实现对因环境敏感及易挥发的不稳定物质进行XPS检测，并且能够得到可靠精准的测试结果。

根据本发明实施例的可充/抽气式XPS冷冻-准原位样品转移装置，包括：

样品台，所述样品台包括盘体，所述盘体上设有用于承载待测样品的样品槽，所述盘体为导热材料制成；

样品罩，所述样品罩上设有凹腔、与所述凹腔上方分别连通的第一气孔和第二气孔，所述第二气孔可被打开或关闭，所述样品罩密封连接在所述盘体的上方，且使所述凹腔下方与所述样品槽连通，形成一个密封空间；

通气装置，所述通气装置设有通气道，所述通气道在充气或抽气状态与所述第一气孔连通。