[发明专利]在激光加工中警告保护窗口的污染的激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其在激光加工中警告保护窗口的污染，其特征在于，

该激光加工装置具有：

激光振荡器；

外部光学系统，其具有将来自上述激光振荡器的输出光聚光的聚光透镜以及配置在上述聚光透镜的下游的保护窗口；

分束器，其配置在上述聚光透镜和上述保护窗口之间；

返回光测定部，其具备二维排列的多个传感器元件或配置成同心圆状的多个传感器元件，以包围通过工件反射并返回到上述外部光学系统的返回光的光轴的方式配置上述多个传感器元件，经由上述分束器测定上述返回光的强度分布；

存储部，其存储正常图案以及异常图案中的至少一方的数据，正常图案表示上述保护窗口正常时的来自上述工件的返回光的强度分布，异常图案表示上述保护窗口污染时的来自上述工件的返回光的强度分布；

处理部，其在激光加工中进行检测上述保护窗口的污染的处理；以及

警告部，其按照上述处理部的处理来警告上述保护窗口的污染，

上述处理部具有：

识别函数生成部，其将上述正常图案以及上述异常图案中的至少一方的数据作为训练数据使用，生成用于识别上述保护窗口的污染的识别函数；以及

污染检测部，其根据上述返回光的测定数据和上述识别函数，来检测上述保护窗口的污染，

上述识别函数包含包围上述光轴的上述传感器元件的集合中的检测出超过预先决定的强度的返回光的强度的上述传感器元件的数量、包围上述传感器元件的集合的上述传感器元件的集合中的检测出超过预先决定的强度的返回光的强度的上述传感器元件的数量、以及分别对上述传感器元件的数量进行加权的参数。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

上述处理部还具有异常图案存储指令部，在通过上述污染检测部检测出上述保护窗口的污染的情况下，该异常图案存储指令部对上述存储部进行将上述返回光的测定数据作为异常图案进行存储的指令。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

上述激光加工装置还具有驱动控制装置，该驱动控制装置使上述保护窗口在与出射光的光轴正交的方向上移动，

上述处理部还具有：窗口位置调整量计算部，其在通过上述污染检测部检测出上述保护窗口的污染的情况下，计算用于调整上述保护窗口的位置的位置调整量；以及窗口位置调整指令部，其根据上述位置调整量，对上述驱动控制装置进行上述保护窗口的移动指令。

4.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

上述处理部还具有识别函数更新部，在通过上述污染检测部检测出上述保护窗口的污染，但是并没有污染的情况下，该识别函数更新部更新上述识别函数的参数。

5.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

越是远离上述返回光的光轴的上述传感器元件的集合，进行加权的上述参数越大。