[发明专利]配线层结构及其制备方法、焊盘结构在审
申请号: | 201811391850.3 | 申请日: | 2018-11-21 |
公开(公告)号: | CN111211106A | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 吴秉桓;许緁娗 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L23/485;H01L23/488;H01L21/48 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 袁礼君;阚梓瑄 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 配线层 结构 及其 制备 方法 盘结 | ||
1.一种配线层结构,其特征在于,包括:
电介质;
导线层,嵌设于所述电介质内,包括框体和连接线;所述框体至少包括两个开口,所述开口将所述框体划分为多个区段;所述连接线位于所述框体内,具有多个连接至所述框体的连接端,且所述连接线将所述框体内部划分为多个区域;其中,每一所述区段都与任一所述连接线的所述连接端连接,每一所述区域都与任一所述开口相连通。
2.根据权利要求1所述的配线层结构,其特征在于,所述连接线包括多条呈线条状的导线,且多个所述导线之间接触或交叉。
3.根据权利要求2所述的配线层结构,其特征在于,多个所述导线对称或不对称设置。
4.根据权利要求3所述的配线层结构,其特征在于,所述导线的数量为1~3条。
5.根据权利要求2所述的配线层结构,其特征在于,所述开口对称或不对称分布于所述框体。
6.根据权利要求5所述的配线层结构,其特征在于,所述开口数量为2~4个。
7.根据权利要求5所述的配线层结构,其特征在于,所述框体为矩形,所述开口数量为四个,所述连接线包括两条导线;其中,
所述四个开口分别位于所述框体的四个直角处,所述两条导线垂直交叉,且任一导线的两端分别与所述框体的边框中点相连。
8.根据权利要求5所述的配线层结构,其特征在于,所述框体为矩形,所述开口数量为四个,所述连接线包括两条导线;其中,
所述四个开口分别位于所述框体的四个边框中心,所述两条导线交叉,且任一导线的两端分别与所述框体相对的直角顶点相连。
9.根据权利要求5所述的配线层结构,其特征在于,所述框体为矩形,所述开口数量为四个,所述连接线包括三条导线;其中,
所述四个开口分别位于所述框体的四个边框中心,其中两条所述导线各自连接同一侧的两个所述边框的区段,第三条所述导线连接另外两条所述导线中点。
10.根据权利要求1所述的配线层结构,其特征在于,所述导线层位于焊盘金属层一侧,所述配线层还包括:
过孔,嵌设于所述电介质内,与所述导线层电连接,用于将所述导线层与焊盘金属层连接。
11.根据权利要求10所述的配线层结构,其特征在于,所述配线层还包括:
若干导电层,位于所述导线层远离所述焊盘金属层的一侧;所述若干导电层之间为电连接,所述若干导电层与所述导线层之间为电连接。
12.根据权利要求1所述的配线层结构,其特征在于,所述导线层的材料包括铜、铝、钨中的一种或多种。
13.一种配线层结构的制备方法,其特征在于,包括:
形成第一电介质层,在所述第一电介质层内形成导线层,所述导线层包括框体和连接线,所述框体至少包括两个开口,所述连接线位于所述框体内,且具有多个连接至所述框体的连接端,且所述连接线将所述框体内部划分为多个区域,每一所述区域都与任一所述开口相连通。
14.根据权利要求13所述的配线层结构的制备方法,其特征在于,还包括:
在第一电介质层上形成覆盖所述第一电介质层的第二电介质层,在所述第二电介质层内形成与所述导线层电连接的过孔。
15.根据权利要求13或14所述的配线层结构的制备方法,其特征在于,在所述电介质层内形成导线层或者过孔包括:
在相应的所述电介质层上涂布光刻胶,曝光,显影,刻蚀,剥离,形成凹槽或通孔;
在所述凹槽内沉积导电材料,形成所述导线层;在所述通孔内沉积导电材料,形成所述过孔。
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