[发明专利]配线层结构及其制备方法、焊盘结构在审

专利信息
申请号: 201811391850.3 申请日: 2018-11-21
公开(公告)号: CN111211106A 公开(公告)日: 2020-05-29
发明(设计)人: 吴秉桓;许緁娗 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: H01L23/49 分类号: H01L23/49;H01L23/485;H01L23/488;H01L21/48
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司 11438 代理人: 袁礼君;阚梓瑄
地址: 230000 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 配线层 结构 及其 制备 方法 盘结
【权利要求书】:

1.一种配线层结构,其特征在于,包括:

电介质;

导线层,嵌设于所述电介质内,包括框体和连接线;所述框体至少包括两个开口,所述开口将所述框体划分为多个区段;所述连接线位于所述框体内,具有多个连接至所述框体的连接端,且所述连接线将所述框体内部划分为多个区域;其中,每一所述区段都与任一所述连接线的所述连接端连接,每一所述区域都与任一所述开口相连通。

2.根据权利要求1所述的配线层结构,其特征在于,所述连接线包括多条呈线条状的导线,且多个所述导线之间接触或交叉。

3.根据权利要求2所述的配线层结构,其特征在于,多个所述导线对称或不对称设置。

4.根据权利要求3所述的配线层结构,其特征在于,所述导线的数量为1~3条。

5.根据权利要求2所述的配线层结构,其特征在于,所述开口对称或不对称分布于所述框体。

6.根据权利要求5所述的配线层结构,其特征在于,所述开口数量为2~4个。

7.根据权利要求5所述的配线层结构,其特征在于,所述框体为矩形,所述开口数量为四个,所述连接线包括两条导线;其中,

所述四个开口分别位于所述框体的四个直角处,所述两条导线垂直交叉,且任一导线的两端分别与所述框体的边框中点相连。

8.根据权利要求5所述的配线层结构,其特征在于,所述框体为矩形,所述开口数量为四个,所述连接线包括两条导线;其中,

所述四个开口分别位于所述框体的四个边框中心,所述两条导线交叉,且任一导线的两端分别与所述框体相对的直角顶点相连。

9.根据权利要求5所述的配线层结构,其特征在于,所述框体为矩形,所述开口数量为四个,所述连接线包括三条导线;其中,

所述四个开口分别位于所述框体的四个边框中心,其中两条所述导线各自连接同一侧的两个所述边框的区段,第三条所述导线连接另外两条所述导线中点。

10.根据权利要求1所述的配线层结构,其特征在于,所述导线层位于焊盘金属层一侧,所述配线层还包括:

过孔,嵌设于所述电介质内,与所述导线层电连接,用于将所述导线层与焊盘金属层连接。

11.根据权利要求10所述的配线层结构,其特征在于,所述配线层还包括:

若干导电层,位于所述导线层远离所述焊盘金属层的一侧;所述若干导电层之间为电连接,所述若干导电层与所述导线层之间为电连接。

12.根据权利要求1所述的配线层结构,其特征在于,所述导线层的材料包括铜、铝、钨中的一种或多种。

13.一种配线层结构的制备方法,其特征在于,包括:

形成第一电介质层,在所述第一电介质层内形成导线层,所述导线层包括框体和连接线,所述框体至少包括两个开口,所述连接线位于所述框体内,且具有多个连接至所述框体的连接端,且所述连接线将所述框体内部划分为多个区域,每一所述区域都与任一所述开口相连通。

14.根据权利要求13所述的配线层结构的制备方法,其特征在于,还包括:

在第一电介质层上形成覆盖所述第一电介质层的第二电介质层,在所述第二电介质层内形成与所述导线层电连接的过孔。

15.根据权利要求13或14所述的配线层结构的制备方法,其特征在于,在所述电介质层内形成导线层或者过孔包括:

在相应的所述电介质层上涂布光刻胶,曝光,显影,刻蚀,剥离,形成凹槽或通孔;

在所述凹槽内沉积导电材料,形成所述导线层;在所述通孔内沉积导电材料,形成所述过孔。

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