[发明专利]一种高温耐磨自润滑TiB2基涂层及其制备方法和应用在审
申请号: | 201811392291.8 | 申请日: | 2018-11-21 |
公开(公告)号: | CN109930108A | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 代伟;刘凡;王启民;李谞;伍一铭 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/35 |
代理公司: | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人: | 杨晓松 |
地址: | 510062 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基涂层 制备方法和应用 耐磨自润滑 金属元素 高温自润滑 表面防护 防护领域 高速切削 摩擦磨损 涂层表面 涂层刀具 应用环境 抗粘结 钛合金 固溶 金属 引入 | ||
本发明属于表面处理防护领域,公开了一种高温耐磨自润滑TiB2基涂层及其制备方法和应用。所述TiB2基涂层是将x元素和y元素固溶在TiB2晶体中,所述x元素为钇或镧;所述y元素为钒、钼或钨。本发明通过在TiB2基涂层中同时引入x金属元素和y金属元素,涂层表面具有抗粘结、高温自润滑等功能,降低TiB2涂层刀具在高速切削钛合金时的摩擦磨损和金属粘着,使得涂层更适用于更苛刻的应用环境,实现更佳的表面防护效果。
技术领域
本发明属于表面处理防护技术领域,更具体地,涉及一种高温耐磨自润滑TiB2基涂层及其制备方法和应用。
背景技术
TiB2是一类过渡族金属硼化物,具有一系列优异的物化性能,比如高的红硬性、高熔点、高的耐磨性和耐腐蚀性、优异的化学稳定性和惰性,使得TiB2涂层在很多高温恶劣环境下具有巨大潜在应用优势,如钛合金切削、高温热压成形等方面。但TiB2涂层在高温环境易与氧反应,生成B2O3和TiO2等氧化产物。TiO2结构疏松,性能差;B2O3熔点低,高温易挥发,这使得TiB2涂层高温摩擦磨损性能较差,极大限制了其在实际工业上的应用。对工模具表面硬质保护涂层,对涂层要求一方面在高温下能起到润滑作用,降低摩擦系数;另一方面要求涂层具有很高的强韧性,能抵御磨损,延长零件使用寿命。这就要求涂层在高温下能保持很高的结构稳定性,维持机械强度,同时在摩擦过程中能在表面能形成软性的润滑层,降低摩擦系数,降低能耗。
发明内容
为了解决上述现有技术存在的不足和缺点,本发明提供了一种高温自润滑TiB2基涂层。
本发明的另一目的在于提供一种上述高温自润滑TiB2基涂层的制备方法。
本发明的再一目的在于提供上述高温自润滑TiB2基涂层的应用。
本发明的目的通过下述技术方案来实现:
一种高温耐磨自润滑TiB2基涂层,所述TiB2基涂层是将x元素和y元素固溶在TiB2晶体中,所述x元素为钇或镧;所述y元素为钒、钼或钨。
优选地,所述x元素含量为0.5~10%、y元素含量为0~5%,其余含量为TiB2晶体。
所述的高温耐磨自润滑TiB2基涂层的制备方法,包括以下具体步骤:
S1.用酒精超声清洗基体,再用去离子水漂洗,干燥压缩氮气吹干;
S2.将基体置于真空室的工件支架上,真空室抽真空至真空度6.0×10–3~5.0 ×10–3Pa,开启离子源,向离子源通入120sccm氩气,设置离子源功率1~2kW,设置工件支架偏压为800~1000V,工作时间为20~40min分钟进行离子束刻蚀;
S3.向真空室通入氩气,同时开启离子源和三个磁控溅射源,其中一个磁控溅射源装载TiB2靶材,另两个磁控溅射源装载金属靶材A和金属靶材B;控制真空室整体气压为0.4~0.6Pa;设置磁控溅射功率1kW~2kW;将基体的偏压设置为60~80V,沉积时间为3~4小时,沉积得高温耐磨自润滑TiB2基涂层;
S4.关闭电源,待真空室的温度降至室温,打开真空室取出基体,在基体表面形成高温耐磨自润滑TiB2基涂层。
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