[发明专利]一种带吸尘功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备在审

专利信息
申请号: 201811393965.6 申请日: 2018-11-21
公开(公告)号: CN109514377A 公开(公告)日: 2019-03-26
发明(设计)人: 王歆;吴秀丽;陈琳 申请(专利权)人: 湖南大合新材料有限公司
主分类号: B24B9/06 分类号: B24B9/06;B24B55/06;B24B47/12;B24B41/06;B24B41/02;B24B27/00
代理公司: 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 代理人: 曾志鹏
地址: 421000 湖南省衡阳市*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 锑化镓单晶 升降座 上端 电机 打磨机构 打磨设备 吸尘功能 吸尘装置 真空吸盘 直线导轨 固定板 支撑架 支撑座 侧边 侧面 柜体 底座 打磨 电机输出轴 输出轴连接 固定设置 过程产生 上下升降 生产环境 升降机构 转轴末端 打磨盘 快速夹 转轴 粉尘 自动化 体内 吸收
【权利要求书】:

1.一种带吸尘功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,它包括底座(4),其左上端设置有柜体(7),柜体(7)的上端设置有支撑架(9),支撑架(9)上安装有侧面打磨机构;侧面打磨机构包括第一电机(10)、与第一电机(10)输出轴相连的转轴(11)、设置在转轴(11)末端的打磨盘(12);底座(4)的上端设置有固定板(2),固定板(2)上固定设置支撑座(19),支撑座(19)上设置有直线导轨(16),直线导轨(16)上安装有升降座(18),升降座(18)与升降机构连接实现上下升降,升降座(18)上设置有第二电机(3),第二电机(3)的输出轴连接真空吸盘(15),锑化镓单晶片(14)安装在真空吸盘(15)上;柜体(7)内安装有吸尘装置,吸尘装置包括吸尘箱体(5)、设置在吸尘箱体(5)内的抽风机(6)、管体(8)和设置在管体(8)末端的吸尘罩(13),吸尘罩(13)倾斜设置在打磨盘(12)的正下方。

2.根据权利要求1所述的一种带吸尘功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,吸尘罩(13)为锥形结构。

3.根据权利要求1所述的一种带吸尘功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,升降机构包括滚珠丝杆(17)和第三电机(1),滚珠丝杆(17)与第三电机(1)的输出轴连接,滚珠丝杆(17)的螺母与升降座(18)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种带吸尘功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,固定板(2)通过螺栓连接在底座(4)上,且固定板(2)在底座(4)上左右位置可以进行调节。

5.根据权利要求1所述的一种带吸尘功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,第一电机(10)和真空吸盘(15)的顶部设置有保护罩(20)。

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