[发明专利]一种可调节的射频渗透磁场增强电离源在审

专利信息
申请号: 201811396232.8 申请日: 2018-11-22
公开(公告)号: CN111211035A 公开(公告)日: 2020-05-29
发明(设计)人: 李金旭;李海洋;侯可勇;曹艺雪;吴称心 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: H01J49/10 分类号: H01J49/10;H01J49/26;G01N27/68
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 马驰
地址: 116023 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 调节 射频 渗透 磁场 增强 电离
【权利要求书】:

1.一种可调节的射频渗透磁场增强电离源,其特征在于:包括射频真空紫外灯(1)、射频电路控制板(2)、电离源腔体(3)、板状电极(4)、圆筒状电极(5)、离子引出电极(6)和永久磁铁(7);

射频电路控制板(2)的电压输出端与射频真空紫外灯(1)相连接;

电离源腔体(3)为一密闭中空腔室,于电离源腔体(3)顶部设有通孔,射频真空紫外灯(1)垂直放置在电离源腔体(3)通孔上方,射频真空紫外灯(1)与腔室上表面的通孔四周边缘密闭连接,射频真空紫外灯(1)的出光光窗面向通孔,其出射光经通孔射入腔室内;

于腔室内从上至下依次设有中部带有圆锥台状通孔的板状电极(4)、上下二端开口的圆筒状电极(5)、中部带有圆锥台状通孔的板状离子引出电极(6);

于电离源腔体(3)底部设有通孔,离子引出电极(6)四周边缘与通孔内壁面密闭连接;

电离源腔体(3)顶部通孔、板状电极(4)中部通孔、圆筒状电极(5)、板状离子引出电极(6)中部通孔同轴;

于圆筒状电极(5)上开口端沿径向向远离轴线方向设有一圆环状凸台,于圆筒状电极下开口端沿径向向轴线方向设有一圆环状凸台;于圆筒状电极外壁面上套设有一圆筒状永久磁铁(7)。

2.根据权利要求1所述的电离源,其特征在于:通过射频真空紫外灯(1)渗透到电离源内在板状电极(4)和圆筒状电极(5)之间区域行程的的射频场对电子有束缚作用,因此会提高该区域电子数密度从而提高电子与样品分子的电离效率。

3.根据权利要求1所述的电离源,其特征在于:射频电路控制板(2)输出端的幅值与频率可调节,与射频真空紫外灯(1)连接后对电离源内电子的束缚程度不同。

4.根据权利要求1所述的电离源,其特征在于:在电离源内引入磁场增加了电子的运动路程提高了与样品分子的碰撞几率从而提高了仪器的检测灵敏度。

5.根据权利要求1所述的电离源,其特征在于:在腔体内的板状电极(4)、圆筒状电极(5)、板状离子引出电极(6)上施加合适的电压,将电离的样品离子向下一级传输。

6.根据权利要求1-5任一所述的电离源,其特征在于:射频场与磁场的共同作用进一步提高了电子与样品分子的电离效率,从而提高了仪器的检测灵敏度。

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