[发明专利]拉力施加装置及掩膜条的抵抗力确定方法

权利要求书

1.一种拉力施加装置，其特征在于，用于确定掩膜条的抵抗力，所述拉力施加装置包括：第一连接部，第二连接部，以及连接在所述第一连接部和所述第二连接部之间的弹性拉伸部和拉力调整部；

所述第一连接部用于与掩膜板框架的一个框边连接，所述第二连接部用于与所述掩膜板框架的另一个框边连接；

所述拉力调整部用于调整所述第一连接部与所述第二连接部之间的间距；其中，所述掩膜条的抵抗力的确定过程包括：将所述拉力施加装置与所述掩膜板框架连接；将所述拉力施加装置施加的拉力调整至预设拉力值；测量所述掩膜板框架的第一形变量；将所述拉力施加装置与所述掩膜板框架解除连接，并将反力施加装置与所述掩膜板框架连接；调整所述反力施加装置施加的作用力，并测量所述掩膜板框架的第二形变量；当所述第二形变量与所述第一形变量相同时，将所述反力施加装置施加的作用力确定为所述掩膜条的抵抗力。

2.根据权利要求1所述的拉力施加装置，其特征在于，所述拉力施加装置，还包括：连接在所述第一连接部和所述第二连接部之间的拉力测量部；

所述拉力测量部用于测量所述第一连接部与所述第二连接部之间的拉力。

3.根据权利要求1所述的拉力施加装置，其特征在于，所述拉力施加装置包括：两个所述弹性拉伸部；

所述第一连接部与一个所述弹性拉伸部连接，所述第二连接部与另一个所述弹性拉伸部连接；

所述拉力调整部设置两个所述弹性拉伸部之间。

4.根据权利要求3所述的拉力施加装置，其特征在于，所述拉力施加装置包括：两个拉力测量部；

一个所述拉力测量部设置在一个所述弹性拉伸部和所述拉力调整部之间，另一个所述拉力测量部设置在另一个所述弹性拉伸部和所述拉力调整部之间；

每个所述拉力测量部均用于测量所述第一连接部与所述第二连接部之间的拉力。

5.根据权利要求2或4所述的拉力施加装置，其特征在于，所述拉力施加装置还包括：拉力显示部；

所述拉力显示部与所述拉力测量部连接，用于显示所述拉力测量部检测到的拉力。

6.根据权利要求1至4任一所述的拉力施加装置，其特征在于，所述拉力调整部包括：齿轮、第一齿条和第二齿条；

所述齿轮的轴线垂直于所述第一连接部与所述第二连接部的连线方向，每个齿条的长度方向均平行于所述连线方向；

所述第一齿条的一端与所述齿轮啮合，所述第一齿条的另一端与所述第一连接部连接；

所述第二齿条的一端与所述齿轮啮合，所述第二齿条的另一端与所述第二连接部连接。

7.根据权利要求6所述的拉力施加装置，其特征在于，所述拉力施加装置还包括：固定板；

所述固定板上设置有第一通孔、第一齿条槽和第二齿条槽，所述第一齿条设置在所述第一齿条槽内，所述第二齿条设置在所述第二齿条槽内，每个齿条槽的长度方向平行于所述连线方向；

所述第一通孔与所述齿轮共轴线，所述齿轮的齿轮轴设置在所述第一通孔内。

8.根据权利要求6所述的拉力施加装置，其特征在于，所述拉力调整部还包括：固定件；

所述固定件与所述齿轮可拆卸连接，且所述固定件与所述齿轮连接时，用于限制所述齿轮转动。

9.根据权利要求8所述的拉力施加装置，其特征在于，所述拉力施加装置还包括：固定板；所述固定件包括：第三齿条和连接件；

所述固定板上设置有第三齿条槽，所述第三齿条设置在所述第三齿条槽内，所述第三齿条的长度方向垂直于所述连线方向，所述第三齿条槽的长度方向平行于所述连线方向；

所述第三齿条与所述第三齿条槽滑动连接，在所述第三齿条滑动至所述第三齿条槽的一端时，所述第三齿条与所述齿轮啮合，在所述第三齿条滑动至所述第三齿条槽的另一端时，所述第三齿条与所述齿轮解除连接；

所述连接件分别与所述固定板和所述第三齿条连接，用于将所述第三齿条固定在所述第三齿条槽内。

10.一种掩膜条的抵抗力确定方法，其特征在于，应用于如权利要求1至9任一所述的拉力施加装置，所述方法包括：

将所述拉力施加装置与掩膜板的掩膜板框架连接；

调整所述拉力施加装置的拉力调整部，将所述拉力施加装置施加的拉力调整至预设拉力值；

测量所述掩膜板框架的第一形变量；

将所述拉力施加装置与所述掩膜板框架解除连接，并将反力施加装置与所述掩膜板框架连接；

调整所述反力施加装置施加的作用力，并测量所述掩膜板框架的第二形变量；

当所述第二形变量与所述第一形变量相同时，将所述反力施加装置施加的作用力确定为所述掩膜条的抵抗力。