[发明专利]扫描反射器设备和用于驱动反射器系统的方法有效

专利信息
申请号: 201811398803.1 申请日: 2018-11-22
公开(公告)号: CN109991732B 公开(公告)日: 2022-03-22
发明(设计)人: 塔帕尼·拉克索宁;康斯塔·乌加;米科·平内宁 申请(专利权)人: 株式会社村田制作所
主分类号: G02B26/10 分类号: G02B26/10;G02B26/08
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 高岩;杨林森
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 扫描 反射 设备 用于 驱动 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种扫描反射器设备,包括反射器系统和反馈电路,其中,

所述反射器系统包括支承件、反射器和弹簧结构,所述弹簧结构从所述支承件悬挂所述反射器,用于所述反射器在两种正交振荡模式下的扫描运动;

每种振荡模式具有以初始带宽在固有谐振频率处达到峰值的频率响应;

所述反射器系统包括:第一换能器结构,用于所述反射器的机械致动;以及第二换能器结构,用于生成表示所述反射器的机械运动的一个或更多个感测信号;

所述反馈电路被配置成:从所述第二换能器结构的换能器接收感测信号并且基于所接收的感测信号向所述第一换能器结构的换能器生成驱动信号,其特征在于,对于所述两种振荡模式中的每一种,所述反馈电路被配置成:

将所述驱动信号的振幅和频率调整到非线性振动范围,在所述非线性振动范围中,峰值频率处的频移是所述初始带宽的至少十倍;

生成调制信号;

与所述调制信号的波形成比例地改变所述驱动信号的振幅。

2.根据权利要求1所述的扫描反射器设备,其特征在于,所述反馈电路被配置成将所述调制信号的频率设置成小于所述峰值频率处的频移。

3.根据权利要求1或2所述的扫描反射器设备,其特征在于,所述第一换能器结构的换能器在一个位置处致动所述反射器,并且所述第二换能器结构的换能器在同一反射器位置处感测所述反射器的运动。

4.根据权利要求1或2所述的扫描反射器设备,其特征在于,从所述支承件悬挂所述反射器的所述弹簧结构包括一个或更多个悬挂件,每个悬挂件的一端耦接至所述反射器的边缘点,并且所述悬挂件的另一端耦接至所述支承件。

5.根据权利要求4所述的扫描反射器设备,其特征在于,所述第一换能器结构的换能器和所述第二换能器结构的换能器位于同一悬挂件上。

6.根据权利要求5所述的扫描反射器设备,其特征在于,

从所述支承件悬挂所述反射器的所述弹簧结构包括三个或更多个悬挂件;

位于同一悬挂件上的所述第一换能器结构的换能器和所述第二换能器结构的换能器形成用于所述反馈电路的一个反馈通道。

7.根据权利要求1或2所述的扫描反射器设备,其特征在于,所述第一换能器结构的换能器和所述第二换能器结构的换能器是压电换能器。

8.根据权利要求1或2所述的扫描反射器设备,其特征在于,所述驱动信号的频率是所述调制信号的频率的至少十倍。

9.根据权利要求1或2所述的扫描反射器设备,其特征在于,所述驱动信号和所述调制信号是正弦信号。

10.根据权利要求1或2所述的扫描反射器设备,其特征在于,

所述反馈电路包括自动增益控制器元件和振幅调制信号生成器元件;

所述自动增益控制器元件被配置成将所述驱动信号的增益调整到目标水平;

所述自动增益控制器的所述目标水平包括固定部分和变化部分,所述变化部分与所述调制信号的波形成比例地改变。

11.一种用于驱动反射器系统的方法,所述反射器系统包括:支承件;反射器;第一换能器结构,用于所述反射器的机械致动;第二换能器结构,用于生成表示所述反射器的机械运动的一个或更多个感测信号;以及弹簧结构,所述弹簧结构从所述支承件悬挂所述反射器,用于所述反射器在两种正交振荡模式下的扫描运动,其中,每种振荡模式具有以初始带宽在固有谐振频率处达到峰值的频率响应;所述方法包括:

从所述第二换能器结构的换能器接收感测信号并且基于所接收的感测信号向所述第一换能器结构的换能器生成驱动信号,其特征在于,

将所述驱动信号的振幅和频率调整到非线性振动范围,在所述非线性振动范围中,峰值频率处的频移是所述初始带宽的至少十倍;

生成调制信号;

与所述调制信号的波形成比例地改变所述驱动信号的振幅;

将所述调制信号的频率设置成小于所述峰值频率处的频移。

12.一种计算机可读介质,所述计算机可读介质上存储有计算机指令,所述计算机指令能够由处理器执行以使得根据权利要求1所述的扫描反射器设备执行根据权利要求11所述的方法的步骤。

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