[发明专利]一种钳位光电二极管的测试方法以及装置

权利要求书

1.一种钳位光电二极管的测试方法，其特征在于，所述钳位光电二极管包括光生电荷收集区、钳位层以及设置在所述光生电荷收集区两侧的至少两个悬浮扩散节点，其中，所述至少两个悬浮扩散节点分别为源极和漏极，所述钳位层接地；所述测试方法包括：

确定施加于所述源极与所述漏极上的第一电压，并监测在所述第一电压作用下所述源极和所述漏极之间的第一测试电流得到第一IV曲线，其中，所述第一电压包括施加于所述源极与所述漏极中一个级的第一静态电压以及施加于所述源极与所述漏极中另一个级的第一动态电压；

根据所述第一IV曲线确定施加于所述源极与所述漏极上的第二电压，并监测在所述第二电压作用下所述源极和所述漏极之间的第二测试电流得到第二IV曲线，其中，所述第二电压包括施加于所述源极与所述漏极中一个级的第二静态电压以及施加于所述源极与所述漏极中另一个级的第二动态电压；

根据所述第一IV曲线和所述第二IV曲线确定所述钳位光电二极管中钳位层的钳位电压。

2.如权利要求1所述的测试方法，其特征在于，所述确定施加于所述源极与所述漏极上的第一电压，并监测在所述第一电压作用下所述源极和所述漏极之间的第一测试电流得到第一IV曲线，包括：

将所述第一静态电压设置为初始电压，并控制所述第一动态电压于从第一初值到第一最大值的第一动态变化范围内动态遍历；

在所述第一动态电压动态遍历时监测经过所述源极和所述漏极之间的第一测试电流得到所述第一IV曲线；

所述根据所述第一IV曲线确定施加于所述源极与所述漏极上的第二电压，并监测在所述第二电压作用下所述源极和所述漏极之间的第二测试电流得到第二IV曲线，包括：

根据所述第一IV曲线确定所述钳位层的第一钳位电压值；

将所述第二静态电压设置为第一钳位电压值，并控制所述第二动态电压于从第二初值到第二最大值的第二动态变化范围内动态遍历；

在所述第二动态电压动态遍历时监测经过所述源极和所述漏极之间的第二测试电流得到所述第二IV曲线；

所述根据所述第一IV曲线和所述第二IV曲线确定所述钳位光电二极管中钳位层的钳位电压，包括：

根据所述第二IV曲线确定所述钳位层的第二钳位电压值；

根据所述第一钳位电压值和所述第二钳位电压值确定所述钳位层的钳位电压。

3.如权利要求2所述的测试方法，其特征在于，所述根据所述第一IV曲线确定所述钳位层的第一钳位电压值，包括：

当所述第一测试电流停止随电压的升高而趋于饱和时，将所述第一测试电流对应的所述第一动态电压值确定为所述第一钳位电压值。

4.如权利要求2所述的测试方法，其特征在于，所述根据所述第二IV曲线确定所述钳位层的第二钳位电压值，包括：

当所述第二测试电流停止随电压的升高而趋于平稳时，将所述第二测试电流对应的所述第二动态电压值确定为所述第二钳位电压值。

5.如权利要求1至4任一所述的测试方法，其特征在于，其中，所述钳位光电二极管还包括半导体衬底，所述半导体衬底接地。

6.如权利要求1至4任一所述的测试方法，其特征在于，其中，所述钳位光电二极管还包括至少两个传输栅，所述至少两个传输栅连接于所述光生电荷收集区与所述至少两个悬浮扩散节点之间。

7.如权利要求6所述的测试方法，其特征在于，施加于所述至少两个传输栅的栅极电压不小于所述至少两个传输栅的阈值电压；且

所述栅极电压小于所述至少两个传输栅的击穿电压。