[发明专利]扫描振镜

权利要求书

1.一种扫描振镜，其特征在于，包括：锚定结构和悬挂结构；所述悬挂结构包括差动电容驱动器、连杆传动组件和扫描镜组件；所述差动电容驱动器固定在所述锚定结构上，包括：X轴驱动器、Y轴驱动器和驱动电路；所述连杆传动组件包括：X轴连杆机构和Y轴连杆机构；所述X轴连杆机构分别与所述X轴驱动器和所述扫描镜组件转动连接；所述Y轴连杆机构分别与所述Y轴驱动器和所述扫描镜组件转动连接；

所述X轴驱动器用于在所述驱动电路输出的第一驱动电压产生的静电力下驱动所述X轴连杆机构摆动，进而带动所述扫描镜组件绕Y轴摆动；所述Y轴驱动器用于在所述驱动电路输出的第二驱动电压产生的静电力下驱动所述Y轴连杆机构摆动，进而带动所述扫描镜组件绕X轴摆动；其中，所述扫描镜组件绕Y轴摆动的角度与频率和所述第一驱动电压对应，绕X轴摆动的角度与频率和所述第二驱动电压对应。

2.根据权利要求1所述的扫描振镜，其特征在于，所述X轴驱动器包括第一X轴驱动器和第二X轴驱动器，所述X轴连杆机构包括第一X轴连杆机构和第二X轴连杆机构；其中，所述第一X轴驱动器和所述第一X轴连杆机构组成的第一X轴驱动结构、所述第二X轴驱动器和所述第二X轴连杆机构组成的第二X轴驱动结构，分别沿X轴布置于所述扫描镜组件两侧。

3.根据权利要求2所述的扫描振镜，其特征在于，所述Y轴驱动器包括第一Y轴驱动器和第二Y轴驱动器，所述Y轴连杆机构包括第一Y轴连杆机构和第二Y轴连杆机构；其中，所述第一Y轴驱动器和所述第一Y轴连杆机构组成的第一Y轴驱动结构、所述第二Y轴驱动器和所述第二Y轴连杆机构组成的第二Y轴驱动结构，分别沿Y轴布置于所述扫描镜组件两侧。

4.根据权利要求3所述的扫描振镜，其特征在于，所述第一X轴驱动结构、第二X轴驱动结构，分别沿X轴对称布置于所述扫描镜组件两侧；所述第一Y轴驱动结构、第二Y轴驱动结构，分别沿Y轴对称布置于所述扫描镜组件两侧。

5.根据权利要求4所述的扫描振镜，其特征在于，各连杆机构均为弹性连杆。

6.根据权利要求5所述的扫描振镜，其特征在于，所述弹性连杆为“几”字型连杆。

7.根据权利要求6所述的扫描振镜，其特征在于，所述第一X轴连杆机构和第二X轴连杆机构的“几”字型连杆的凸出方向相反，所述第一Y轴连杆机构和第二Y轴连杆机构的“几”字型连杆的凸出方向相反。

8.根据权利要求4所述的扫描振镜，其特征在于，所述第一X轴驱动器和第二X轴驱动器分别对应的第一驱动电压的振幅相同，相位相反；所述第一Y轴驱动器和第二Y轴驱动器分别对应的第二驱动电压的振幅相同，相位相反。

9.根据权利要求1所述的扫描振镜，其特征在于，所述差动电容驱动器包括梳齿结构组成的环形差动电容。

10.根据权利要求1所述的扫描振镜，其特征在于，所述驱动电路包括依次连接的处理器、数模转换器、滤波器和放大器，所述驱动电路还包括用于向所述放大器供电的电源，其中，

所述处理器用于根据预设摆动角度输出控制各驱动器的数字电压信号；

所述数模转换器用于将所述数字电压信号转换为控制各驱动器的模拟电压信号；

所述滤波器用于根据噪声截止频率滤除所述模拟信号中的高频噪声；

所述放大器用于根据所述模拟信号和预设放大倍数输出控制各驱动器的驱动电压。