[发明专利]静电吸盘的静电释放方法及装置

权利要求书

1.一种静电吸盘的静电释放方法，其特征在于，所述静电释放方法包括：

步骤S1，通过静电吸盘向晶圆施加第一反向电压，以第一次释放吸附于所述静电吸盘的所述晶圆的静电，启动所述静电吸盘的晶圆销钉提升所述晶圆；

步骤S2，判断所述晶圆销钉在第一时间段内是否达到预脱吸附位置；若否，则进行步骤S3，若是，则进行步骤S6；

步骤S3，通过静电吸盘向所述晶圆施加第二反向电压，以第二次释放吸附于所述静电吸盘的所述晶圆的静电，启动所述静电吸盘的晶圆销钉提升所述晶圆；

步骤S4，判断所述晶圆销钉在第二时间段内是否达到预脱吸附位置；若否，则进行步骤S5，若是，则进行步骤S6；

步骤S5，通过静电吸盘向所述晶圆施加阶梯递增的第三反向电压至电源供应器的最大输出电压，并判断电压递增期间所述晶圆销钉是否达到预脱吸附位置，若是，则进行步骤S6，若否，则进行步骤S7；

步骤S6，所述晶圆销钉将所述晶圆上举至目标位置；

步骤S7，机台报警。

2.根据权利要求1所述的静电吸盘的静电释放方法，其特征在于：所述第一反向电压的范围介于800伏～1200伏之间，所述第一时间段的范围介于15秒～30秒之间。

3.根据权利要求1所述的静电吸盘的静电释放方法，其特征在于：所述第二反向电压的范围介于800伏～1200伏之间，所述第二时间段的范围介于15秒～30秒之间。

4.根据权利要求1所述的静电吸盘的静电释放方法，其特征在于：所述第三反向电压每次递增的电压增幅介于400伏～600伏之间，且所述第三反向电压不大于所述电源供应器的最大输出电压。

5.根据权利要求1所述的静电吸盘的静电释放方法，其特征在于：所述预脱吸附位置的高度介于所述目标位置的高度的1/50～1/2之间。

6.根据权利要求1所述的静电吸盘的静电释放方法，其特征在于：所述步骤S5中，在通过静电吸盘向晶圆施加每一阶梯的第三反向电压后，均启动所述静电吸盘的晶圆销钉提升晶圆并判断所述晶圆销钉是否在第三时间段内达到预脱吸附位置，若是，则停止向所述静电吸盘供电，若否，则提升通过静电吸盘向所述晶圆施加的电压。

7.根据权利要求6所述的静电吸盘的静电释放方法，其特征在于：所述第三时间段的范围介于15秒～30秒之间。

8.一种静电吸盘的静电释放装置，其特征在于，包括：

静电吸盘，所述静电吸盘用以吸附晶圆，所述静电吸盘中设置有晶圆销钉，所述晶圆销钉用以提升晶圆；

所述静电吸盘配置有电源供应器，用于在接收到第一供电信号时，通过所述静电吸盘向所述晶圆提供固定反向电压，及在接收到第二供电信号时，通过所述静电吸盘向所述晶圆提供阶梯递增的阶梯反向电压；以及

处理单元，连接所述静电吸盘并与所述电源供应器相连，用于判断在启动所述晶圆销钉提升所述晶圆后的预定时间段内所述晶圆销钉是否到达预脱吸附位置，并依据判断结果向所述电源供应器发送提供固定反向电压的第一供电信号或提供阶梯递增的阶梯反向电压的第二供电信号。

9.根据权利要求8所述的静电吸盘的静电释放装置，其特征在于：所述静电吸盘的晶圆销钉的晶圆提升位置包括预脱吸附位置及目标位置，所述目标位置高于所述预脱吸附位置，所述预脱吸附位置的高度介于所述目标位置的高度的1/50～1/2之间。

10.根据权利要求8所述的静电吸盘的静电释放装置，其特征在于：所述电源供应器通过所述静电吸盘向所述晶圆提供的固定反向电压的范围介于800伏～1200伏之间。

11.根据权利要求8所述的静电吸盘的静电释放装置，其特征在于：所述预定时间段的范围介于15秒～30秒之间。