[发明专利]用于真空仪器的真空进换样方法

说明书

本发明公开了一种用于真空仪器的真空进换样方法。该真空进换样方法包括如下步骤：通过分子泵对真空腔抽吸使真空腔保持真空状态；通过驱动组件驱动靶座组件移动至进样孔的内侧开口处以密封进样孔的内侧开口，靶座组件与密封盖之间形成过渡腔，对过渡腔进气使得过渡腔处于常压状态，打开密封盖；当点样有样品的样品靶置于靶座组件上后；关闭密封盖，通过前级泵对过渡腔进行抽吸；通过功率检测器检测分子泵功率；供根据功率检测器检测到的分子泵功率判断过渡腔内的压强是否达到压强预设值；供根据功率检测器检测到的分子泵功率判断真空腔是否达到真空状态。该真空进换样方法进换样效率高且能准确检测真空腔以及过渡腔内的真空状态。

技术领域

本发明涉及一种用于真空仪器的真空进换样方法。

背景技术

目前，基质辅助激光解吸飞行时间质谱仪(MALDI-TOF MS)在分析样品时，需要将待分析的样品物质与基质混合或先后点在样品靶上，干燥之后产生共结晶体，方可进入真空腔中进行分析。真空腔的真空环境由分子泵和前级泵提供，真空腔的压强通常需小于10^-4pa，样品靶放入真空腔一般是采用过渡腔完成。样品靶先放入过渡腔，过渡腔被预抽至粗真空以达到满足分子泵的工作真空度，样品靶才可进入真空腔中。

过渡腔内的真空状态、真空腔的高真空状态的检测方法依然是通过传统的真空规来实现的。过渡腔内的真空状态是通过低真空规判断的，过渡腔达到预定真空度，才可进靶。低真空规的使用不利于仪器设计，增加成本。

发明内容

基于此，有必要提供一种进换样效率高且能准确检测过渡腔内的真空状态的真空进换样方法。

一种用于真空仪器的真空进换样方法，包括如下步骤：

关闭真空仪器的密封盖，通过前级泵与分子泵对所述真空仪器的真空腔抽吸使所述真空腔保持真空状态；

通过驱动组件驱动靶座组件移动至所述真空仪器的进样孔的内侧开口处以密封所述进样孔的内侧开口，所述靶座组件与所述密封盖将所述进样孔密封形成过渡腔，对所述过渡腔进气使得所述过渡腔处于常压状态，打开所述密封盖；

将点样有样品的样品靶置于所述靶座组件上，关闭所述密封盖，通过所述前级泵对所述过渡腔进行抽吸；

通过功率检测器检测所述分子泵功率；

根据所述功率检测器检测到的所述分子泵功率判断所述过渡腔内的压强是否达到压强预设值。

在其中一个实施例中，当所述真空腔内的压强小于1×10^-3Pa时，表示所述真空腔达到真空状态。

在其中一个实施例中，所述压强预设值为10Pa-1000Pa。

在其中一个实施例中，所述控制器判断所述过渡腔内的压强是否达到压强预设值具体包括如下步骤：

当所述功率检测器检测到的所述分子泵功率在第一预设时间段内上升至大于或者等于功率预设值并小于其额定功率，且在第二预设时间段内大于其初始运转功率并小于所述功率预设值时，即表示所述过渡腔内的压强达到压强预设值，其中，所述额定功率＞所述功率预设值＞所述初始运转功率。

在其中一个实施例中，所述第一预设时间段为10s-50s。

在其中一个实施例中，所述第二预设时间段为10s-50s。

在其中一个实施例中，所述功率预设值为10W-250W。

在其中一个实施例中，通过真空规判断所述真空腔是否达到预设真空度。

在其中一个实施例中，当在第三预设时间段内分子泵功率逐渐降为零，表示所述分子泵停止运转，所述第三预设时间段为0.5min-2min。