[发明专利]碳纳米管原子氧探测器及其制造方法

权利要求书

1.空间原子氧的碳纳米管探测器，包括基底、碳纳米管层、电极，其中碳纳米管层设置在基底中间，碳纳米管层的两端各镀上电极，通过测量两电极之间的电阻变化来探测空间氧原子的注量。

2.如权利要求1所述的碳纳米管探测器，其中，所述基底为玻璃基底或陶瓷基底。

3.如权利要求1所述的碳纳米管探测器，其中，碳纳米管层为碳纳米管纸。

4.如权利要求1所述的碳纳米管探测器，其中，碳纳米管层是用导电银浆料将碳纳米管纸粘贴基底上形成的，基底大小要大于碳纳米管纸条大小。

5.如权利要求1-5任一项所述的碳纳米管探测器，其中，电极为金、铂金、银、铜金属材料电极。

6.如权利要求1所述的碳纳米管探测器，其中，碳纳米管纸的尺寸为宽度从1mm至10cm，长度1cm至10cm的长条，碳纳米管纸厚度从100nm-1mm。

7.如权利要求1所述的碳纳米管探测器，其中，碳纳米管膜的厚度为100nm-300nm。

8.空间原子氧的碳纳米管探测器的制造方法，包括以下步骤：

1）将基底进行清洁处理，将长条形碳纳米管层设置在基底上，碳纳米管层的面积小于基底的面积；

2）用面积小于碳纳米管层的长条形挡板对应设置在碳纳米管层上，碳纳米管层的两端从挡板两侧面露出一部分；

3）将碳纳米管层露出的侧面部分镀上电极，将电极两端连接外部测量电路，并将挡板去除，形成探测空间原子氧的探测器。

9.如权利要求8所述的方法，其中，长条形碳纳米管层为碳纳米管纸，碳纳米管纸的尺寸为从1mm至10cm，长度1cm至10cm的长条，碳纳米管纸厚度从100nm-1mm，其通过导电银浆料粘贴基底上。

10.如权利要求8所述的方法，其中，利用磁控溅射镀膜或者电子束镀膜方法，在露出的碳纳米管纸上镀金属电极。